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微纳制造装备中拱形桥架的结构优化设计被引量：4: 2012年; 为了提高微纳制造装备的定位精度,从提高桥架结构的刚度出发,以ANSYS软件为开发工具,提出了一种新型的拱形桥架结构。文中先从概念设计出发,设计出桥架机构的基本结构,然后利用ANSYS软件分析桥架的结构参数(如桥架厚度、立柱宽度、圆弧半径、斜面宽度和斜面高度)对刚度的影响,最终确定优化后的桥架模型。利用ANSYS软件对桥架结构进行静力分析和模态分析,通过对比不同设计方案的仿真结果,表明了新型桥架结构的优越性。; 杨梅菊赖磊捷谷国迎朱利民; 关键词：桥架结构优化设计模态分析有限元

三自由度θ_Xθ_YZ柔性机构的柔度分析与计算被引量：1: 2014年; 针对目前具有三自由度X YθθZ变形特点的柔性机构缺少定量理论分析的情况,以基于直角柔性铰链的三自由度X YθθZ柔性机构为对象,提出了一种整体柔度公式的分析建模方法,推导出整体柔度矩阵中各柔度单元的闭环解析公式,并利用有限元和实验的方法对柔度公式进行校验。结果表明,有限元法和实验方法与闭环解析式结果基本一致。借助于闭环解析公式,分析了柔性铰链结构参数对机构柔度性能的影响关系。整体柔度公式为三自由度X YθθZ柔性机构的设计与分析提供了有效准确的理论方法,对柔性机构在微纳制造装备等工程中应用具有较大的实际意义。; 李春霞赖磊捷朱利民; 关键词：柔度矩阵柔度有限元分析

基于LabVIEW的微纳加工系统设计与研究: 2014年; 根据约束刻蚀加工工艺原理要求,开发了基于LabVIEW软件的微纳米加工系统。系统主要由宏动定位平台、微动定位平台、微力传感器、电化学工作站以及控制系统组成。系统通过数据采集卡和运动控制卡来实现仪器的定位与运动控制,对接触检测和主动恒力控制等关键技术进行了重点研究,使用LabVIEW编写了运动控制软件,最后在此系统上开展了光学微透镜阵列的电化学湿印章刻蚀加工试验。实验结果表明该工艺成功地把模板上的微透镜阵列图案复制到了硅基底上,具有较高的复制精度。; 赵相晖赖磊捷朱利民; 关键词：LABVIEW

常温磷化过程中的开路电位-时间曲线以及成膜规律被引量：4: 2011年; 目前,对常温磷化成膜机理及规律的认识十分有限,进而影响了常温磷化膜的开发和应用。通过测量常温磷化过程中磷化液的开路电位-时间曲线分析了成膜规律,采用扫描电镜(SEM)考察了成膜过程中磷化膜的形貌变化,测定了膜层的耐蚀性、孔隙率随成膜时间的变化,通过X射线衍射(XRD)分析了磷化膜的相结构。结果表明:常温磷化成膜过程主要由8个阶段构成,即氧化层或其他腐蚀抑制物的溶解、形核与早期成长、晶核或初生晶粒的再溶解、快速成膜、形成完整单层覆盖层后磷化膜的增厚、再结晶、稳定的H+腐蚀扩散通道的建立、膜的生长与溶解平衡;开路电位随时间的变化很好地反映了常温磷化膜的生长规律,可用开路电位-时间曲线来监控磷化膜生长,也可将其作为筛选添加剂或改进磷化工艺的判据;改进的粘贴K3Fe(CN)6滤纸法可用于磷化膜的孔隙率测定,其测量结果与硫酸铜点滴试验结果一致;磷化膜主要由Zn3(PO4)2.4H2O,Zn2Fe(PO4)2.4H2O,Fe3(PO4)2.4H2O组成。; 蒋利民杨永生蒋熙云邓文波王汉丹; 关键词：常温磷化成膜过程形核

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国家自然科学基金(91023047)