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国家自然科学基金(91023028)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
陈骄
吴学忠
邸荻
董培涛
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作者
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董培涛
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邸荻
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陈骄
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1篇
2011
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TMAH溶液中的(110)硅各向异性湿法腐蚀及其在不同添加剂下的腐蚀特性研究
被引量:5
2011年
研究了TMAH溶液中(110)硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了(110)硅在TMAH与不同添加剂(过硫酸铵、异丙醇等)构成的腐蚀系统下的腐蚀特性。利用场发射扫描电子显微镜(SEM)观测(110)硅的腐蚀坑腔结构,利用扫描探针显微镜(SPM)测量(110)硅腐蚀的表面粗糙度。结果表明:(110)硅片腐蚀的坑腔结构与掩膜窗口的大小和腐蚀时间有关;在充分腐蚀的情况下,(110)硅片腐蚀的坑腔结构是由四个与表面垂直的(111)面和另外两个与表面成35.26°夹角的(111)面围成的结构;过硫酸铵和异丙醇能显著改善腐蚀表面质量。
陈骄
董培涛
邸荻
吴学忠
关键词:
TMAH
过硫酸铵
异丙醇
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