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沉积压强对类金刚石薄膜组织和性能的影响被引量：1: 2015年; 使用等离子增强化学气相沉积的方法制备不同沉积压强下的类金刚石薄膜。反应气体为C2H2和CH4,辅助气体为Ar。通过控制气体流量来达到改变沉积压强的目的,沉积压强分别为2.5Pa、3.8Pa、5.0Pa和6.1Pa,为排除其它工艺参数对实验结果的影响,气体流量比C2H2∶CH4∶Ar=2∶2∶1保持不变。使用扫描电镜、拉曼光谱和纳米压痕等检测手段对薄膜的组织和性能进行分析。研究表明,薄膜均为非晶态结构;随着沉积压强的升高,薄膜沉积速率不断提高;随着沉积压强的升高,薄膜的ID/IG值不断下降,说明薄膜中的sp3键含量不断上升,与此同时,薄膜中的硬度和弹性模量不断提高;通过Rockwell压痕法测试膜基结合力,结果表明四组薄膜均有较高的结合力,其中沉积压强为5.0Pa的薄膜的结合力最好。; 胡恒宁杜昊李洪林周彤熊计赵海波; 关键词：类金刚石薄膜形貌拉曼力学性能

车削刀片切削性能试验方法研究被引量：1: 2012年; 以YT15刀具对4Cr13模具钢车削加工为例,进行了切削性能分析和工艺试验,并根据试验结果,对YT15切削4Cr13模具钢的切削加工参数进行了优化,且在优化切削参数条件下,将不同厂家生产的YT15刀片车削4Cr13模具钢切削加工性能进行对比研究,最终得出刀具生产、开发和应用的参考依据。; 邓莹邓玲; 关键词：车削刀片

全自动工业化沉积类金刚石涂层设备的研发被引量：1: 2015年; 类金刚石涂层(DLC)是一种与金刚石涂层性能相似的新型涂层材料。传统的DLC沉积设备或是单一的物理气相沉积设备(PVD)或是单一的物理化学气相沉积设备(PCVD)。本文开发的改进型全自动化设备将两种沉积方式融合于一个沉积室内,可以根据需要制备不同种类的含有DLC的多层复合涂层。; 李洪林胡恒宁周彤杜昊; 关键词：结合力拉曼光谱盐雾腐蚀

切削刀具表面TiCN涂层的研究现状与发展被引量：19: 2016年; 近年来,我国汽车产业迅猛发展,汽车机械零部件的需求给我国切削加工业带来了发展机遇和挑战。汽车安全性和舒适性的要求,国家节能减排、绿色制造的发展战略,指引切削技术向高速、高效、高精、绿色、智能方向发展,对刀具材料的使用性能也提出了更高要求。TiCN涂层刀具因具有高硬度和高耐磨性被大量应用,尤其是在有色金属及合金的切削加工上具有明显优势。综述了TiCN涂层的微观结构,指出C原子具有细化晶粒和抑制柱状晶形成的作用,涂层的结晶度和择优取向随C含量的改变而变化。总结了TiCN涂层的主要性能特点,包括硬度和致硬机理、耐磨性和减摩机理、热稳定性和热失效机制。介绍了TiCN涂层的沉积原理,指出各种制备方法的优缺点和关键工艺参数。分析了以TiCN为基进行改性获得的涂层的国内外最新研究现状,提出对TiCN涂层进行多层化、多元化以及纳米多层化,是进一步提高该涂层在高温条件下综合性能的方法,也是该涂层为适应高速切削、干式切削等新切削技术要求的发展方向。; 覃正海鲜广赵海波郑永强范洪远王均; 关键词：TI 切削刀具高温性能

钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响被引量：2: 2014年; 研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分、结构和性能之间的关系。; 穆健刚梁俊才张凤戈王铁军赵栋梁; 关键词：靶材涂层磁控溅射

扫描电镜在硬质合金工艺控制过程中的应用研究: 2012年; 硬质合金生产工艺控制的关键是对产品微观组织形貌进行分析研究。本文通过对扫描电镜的工作原理及分析系统应用特点的分析,结合硬质合金关键生产工艺控制要点研究,将扫描电镜特色检测手段应用在硬质合金生产工艺控制上,并通过设计合理的分析方法及形貌、缺陷分析,为硬质合金各工序的质量控制提供样本及依据。; 邓莹邓玲涂铭旌; 关键词：扫描电镜硬质合金生产工艺

Ti靶微观组织对TiN涂层性能的影响被引量：1: 2018年; 研究了四种不同微观组织的Ti靶,以及同一条件下在硬质合金基底上磁控溅射得到的Ti N涂层,采用SEM、EDX、XRD、纳米硬度计和原子力显微镜对涂层进行了分析。结果表明：等轴晶钛靶材的晶粒尺寸越细小,涂层中氮含量越高,涂层表面的颗粒越多,表面的粗糙度越大,涂层颗粒尺寸越大,纳米硬度越小;纳米硬度的大小与涂层的相结构关系密切;采用魏氏组织钛靶溅射得到的Ti N涂层性能最优。; 穆健刚梁俊才王铁军赵栋梁张凤戈赵海波; 关键词：硬质涂层 TI

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国家科技重大专项(2012ZX04003011)