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中国航空科学基金(CB40133)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：耿东生张贵锋刘正堂郑修麟张建宏更多>>
相关机构：西北工业大学更多>>
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相关领域：理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频溅射
  • 1篇无定形
  • 1篇溅射
  • 1篇N
  • 1篇A-C

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇张建宏
  • 1篇郑修麟
  • 1篇刘正堂
  • 1篇张贵锋
  • 1篇耿东生

传媒

  • 1篇材料工程

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
a-C:N膜的制备及结构分析被引量：2
1997年
采用射频溅射法在锗衬底上沉积无定形碳氮膜 (a- C:N) ,用 X射线光电子谱 (XPS)、傅立叶变换红外光谱 (FT- IR)和喇曼光谱 (RS)分析了膜的成分与结构。结果表明 ,氮是以化学键的形式存在于膜中 ,且有三种不同的 C- N键合状态。随着反应气体中氮气分压的增加 ,a- C:N膜中氮浓度增加 ,C≡N键的含量增加。
张贵锋张建宏耿东生刘正堂郑修麟
关键词：射频溅射
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