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国家高技术研究发展计划(2002AA3Z1330-2)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
翟晓晓
褚战星
王力元
李敏
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相关机构:
北京师范大学
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相关领域:
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2007
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几种光产酸剂产酸效率的测定
被引量:1
2007年
溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下的产酸量.其中三嗪光产酸剂的光照产酸能力最强.
褚战星
翟晓晓
王力元
李敏
关键词:
光致抗蚀剂
光产酸剂
指示剂
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