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中国博士后科学基金(0101100419)

作品数：2 被引量：11H指数：2
相关作者：陈学东赵慧张尚盈更多>>
相关机构：华中科技大学武汉科技大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇运动控制
  • 2篇主从控制
  • 2篇解耦
  • 1篇纳米
  • 1篇超精
  • 1篇超精密

机构

  • 2篇华中科技大学
  • 2篇武汉科技大学

作者

  • 2篇张尚盈
  • 2篇赵慧
  • 2篇陈学东

传媒

  • 1篇中国机械工程
  • 1篇华中科技大学...

年份

  • 2篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
精密硅片台的运动控制被引量：7
2008年
描述一种应用于集成电路制造的超精密硅片台系统及其运动控制。介绍了超精密硅片台系统配置及其主从控制原理,结合粗动台和微动台两者的优点,可以实现运动控制的大行程和高精度。基于闭环控制,给出精密硅片台机电系统动力学辨识的方法并进行了实验辨识。利用环路整形技术,研究并联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法。基于实际实现,提出力解耦控制策略。仿真结果表明,利用双台结构的超精密硅片台的定位精度可达到10nm。
张尚盈陈学东赵慧严天宏
关键词：超精密主从控制纳米
超精密工件台的运动控制被引量：4
2008年
描述了一种应用于集成电路(IC)制造的超精密工件台的运动控制.介绍了超精密工件台主从控制原理,它结合了粗动台和精动台两者的优点以实现运动控制的大行程和高精度.给出了超精密工件台机电系统基于闭环控制的动力学辨识方法.利用环路整形技术,研究了串联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法.仿真结果表明该超精密工件台的定位精度可达到10 nm.
张尚盈陈学东赵慧严天宏
关键词：运动控制主从控制
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共1页<1>
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