国家高技术研究发展计划(2002AA302613)
- 作品数：5 被引量：49H指数：4
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- 相关机构：上海交通大学更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 纳米金刚石薄膜的制备与应用
- CVD金刚石薄膜具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能,然而,常规CVD金刚石薄膜是由微米级(几微米到几十微米)柱状多晶组成的,因而薄膜表面十分粗糙,作为耐磨涂层,...
- 孙方宏张志明沈荷生郭松寿
- 关键词：纳米金刚石薄膜硬质合金表面粗糙度
- 文献传递
- 压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：5
- 2003年
- 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。对该器件的压力输出特性测量表明,输出电压—压力曲线线性较好,重复性好,常温下灵敏度高。
- 凌行莘海维张志明孙方宏戴永兵沈荷生
- 关键词：压阻式金刚石薄膜压力微传感器制作方法
- 热丝CVD法生长纳米金刚石薄膜的研究被引量：26
- 2003年
- 系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜。高分辨透射电镜分析表明,薄膜的晶粒尺寸约为10nm,〈111〉晶面间距为0.2086nm,与标准值0.2059nm很接近,晶粒周围由非晶结构包围。紫外激光拉曼光谱有尖锐的金刚石峰和明显的石墨峰。
- 张志明莘海维戴永兵孙方宏汪涛沈荷生
- 关键词：纳米金刚石
- 纳米金刚石复合涂层紧压模的制备及应用被引量：12
- 2003年
- 本文简要介绍了化学气相法 (CVD)沉积金刚石薄膜原理和涂层模具的制备方法 ,以 WC- Co硬质合金紧压模为衬底 ,用热丝 CVD法沉积得到纳米金刚石复合涂层。检测了该涂层的 X射线衍射图、拉曼谱图和形貌。用该复合涂层技术制备得到的绞线紧压模在实际生产线上进行了初步的应用试验 ,模具工作寿命可提高达 10倍以上 ,绞线表面光洁度明显改善 ,取得了十分满意的结果。
- 张志明沈荷生孙方宏郭松寿
- 关键词：电线电缆纳米金刚石复合涂层
- 圆柱形衬底上高质量金刚石薄膜制备工艺研究被引量：1
- 2005年
- 本文以丙酮和氢气为气源,采用优化钽丝排列分布的偏压增强热丝CVD装置对钨丝衬底进行了金刚石薄膜沉积研究。采用扫描电镜(SEM)、拉曼(Raman)光谱等方法检测了金刚石薄膜的质量,分析了沉积工艺对金刚石形核和生长的影响。研究结果分析表明,当直径为1mm的钨丝与热丝之间的最佳距离为4-6mm且反应压力为4665.5Pa、碳源浓度为1.8%时可得到涂层厚度均匀又能覆盖整个钨丝外表面的高质量金刚石薄膜,为以后的自支撑的金刚石薄膜管的制备和回转体刀具的外表面金刚石涂层打下基础。
- 马玉平王勇孙方宏陈明
- 关键词：金刚石薄膜
- 光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响被引量：6
- 2006年
- 提高金刚石薄膜的附着力和光洁度是实现CVD金刚石涂层在工模具和耐磨器件领域中广泛应用的关键因素。采用热丝CVD法在光滑WC-Co硬质合金基体表面沉积金刚石薄膜,研究了渗硼预处理新方法对光滑衬底表面抑制Co催石墨化作用和保证金刚石涂层附着力的效果。研究结果表明,采用渗硼预处理方法既能避免研磨、刻蚀和化学腐蚀等加工方法对光滑衬底表面的严重损伤,又能有效抑制Co对金刚石薄膜的不利影响,获得了满足附着力要求的光滑金刚石薄膜,对于拓宽金刚石薄膜的应用领域具有重要意义。
- 王勇马玉平孙方宏张志明陈明
- 关键词：金刚石薄膜渗硼附着力
- 高性能复杂形状金刚石薄膜涂层刀具的制备和应用研究
- CVD金刚石薄膜涂层刀具是在刀具基体上直接沉积金刚石薄膜,因而适用于制造复杂形状的刀具。与其他金刚石刀具相比,该种刀具制造设备投资小,性能价格比高,极富市场竞争力,因而可成为高效高精度切削加工有色金属及其合金、复合材料和...
- 孙方宏张志明沈荷生陈明
- 关键词：金刚石薄膜硬质合金复杂形状刀具
- 文献传递
