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国家电子信息产业发展基金(TFT-LCD)

作品数：3 被引量：8H指数：2
相关作者：杨光明李志伟黄文胜李卫张建润更多>>
相关机构：中国电子工程设计院东南大学更多>>
发文基金：国家电子信息产业发展基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术建筑科学电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇建筑科学

主题

  • 3篇TFT-LC...
  • 1篇多体动力学
  • 1篇特气
  • 1篇微振动
  • 1篇显式动力学
  • 1篇模态
  • 1篇模态综合法
  • 1篇防微振
  • 1篇TFT
  • 1篇LCD

机构

  • 3篇中国电子工程...
  • 1篇东南大学

作者

  • 3篇杨光明
  • 2篇李卫
  • 2篇黄文胜
  • 2篇李志伟
  • 1篇郑佳明
  • 1篇张建润
  • 1篇李强

传媒

  • 3篇工程建设与设...

年份

  • 3篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
TFT-LCD工厂stocker搬运服务能力分析被引量：1
2008年
通过分析FTF-LCD工厂的自动化搬送系统的组成和布局方法,提出了一种计算Stocker服务能力的解析方法,利用这种解析方法在知道Stocker的基本几何参数的情况下,能很方便的计算Stocker服务能力。并利用得到的方法分析比较了不同世代生产线的Stocker服务能力。
李卫杨光明李强黄文胜李志伟
TFT-LCD阵列工艺中的特气技术被引量：5
2008年
根据TFT阵列工艺中的各种膜的组成结构,分析了特气在成膜、刻蚀和清洗等工艺过程中的主要物理和化学过程。对特气按危险性进行了分类,介绍了供气系统和废气处理的方案以及废气处理应达到的指标。
杨光明李志伟
关键词：TFT-LCD特气
TFT-LCD厂房防微振系统的数值仿真研究被引量：2
2008年
结合有限元理论和多体动力学理论,创新的提出了一种振动系统的精确计算方法,并在TFT厂房设备隔振中进行了工程实践,经随机振动数据采集分析,该方法对于精密设备的隔振设计具有指导意义。
郑佳明杨光明李卫黄文胜张建润
关键词：微振动多体动力学模态综合法显式动力学
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