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北京市科技新星计划(2003A13)

作品数：3 被引量：12H指数：3
相关作者：黑立富宋建华李彬陈广超佟玉梅更多>>
相关机构：北京科技大学更多>>
发文基金：北京市科技新星计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 3篇理学
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇纳米
  • 1篇多层结构
  • 1篇生长速率
  • 1篇内应力
  • 1篇纳米复合结构
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇晶面
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇功率
  • 1篇光谱
  • 1篇复合结构
  • 1篇大功率

机构

  • 5篇北京科技大学

作者

  • 5篇戴风伟
  • 5篇李成明
  • 5篇兰昊
  • 5篇佟玉梅
  • 5篇陈广超
  • 5篇宋建华
  • 5篇黑立富
  • 4篇唐伟忠
  • 4篇李彬
  • 3篇吕反修
  • 1篇周祖源
  • 1篇李彬

传媒

  • 3篇人工晶体学报

年份

  • 3篇2007
  • 2篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
微/纳米多层金刚石自支撑膜的制备及生长特性的研究被引量：5
2007年
在30kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在钼衬底上分别制备了普通微米自支撑膜及多层金刚石自支撑膜并对其进行研究。结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面;多层膜中各层膜体的内应力沿生长方向有明显变化,出现一个从压应力到拉应力变化的过程;在沉积过程中,随着层数变化,膜体的生长速率也发生相应的变化。
兰昊陈广超戴风伟李彬唐伟忠李成明宋建华J.Askari黑立富佟玉梅
关键词：多层结构内应力生长速率
大功率DC Arc Plasma Jet CVD制备微／纳米复合金刚石自支撑膜的研究
在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体, 在钼衬底上制备出了复合金刚石自支撑膜,并对其表面和侧面分别进行了扫描电镜 （SEM）、X射线衍射（XRD）、激光拉曼光谱（R...
兰昊陈广超戴风伟李彬唐伟忠李成明宋建华J．Askari黑立富佟玉梅吕反修
文献传递
直流电弧等离子喷射CVD中控制生长(111)晶面占优的金刚石膜被引量：4
2006年
运用光发射谱(OES)技术对大功率直流电弧等离子喷射CVD金刚石膜的气相沉积环境进行了原位诊断,研究了气相环境中主要含碳基团的浓度及分布与沉积参数的关系,发现了C2基元比其他基元对沉积参数更加敏感。利用光发射谱对C2基元发射强度的监测,实时调控沉积各参数,在大功率直流电弧等离子喷射CVD中实现了(111)晶面占优的金刚石膜的可控生长,I(111)/I(220)XRD衍射峰强度的比值达48。
周祖源陈广超戴风伟兰昊宋建华李彬佟玉梅李成明黑立富唐伟忠
关键词：金刚石膜
DC Arc Plasma Jet CVD法沉积纳米金刚石自支撑膜的研究
在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD(直流电弧等离子体喷射化学气相沉积)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,在Mo的衬底上沉积出纳米金刚石自支撑膜。实验表明,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大...
戴风伟陈广超兰昊J．Askari宋建华李成明佟玉梅李彬黑立富唐伟忠吕反修
文献传递
采用DC Arc Plasma JetCVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜被引量：3
2006年
在30kW级直流电弧等离子体喷射化学气相沉积(DC Arc P lasm a Jet CVD)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过调节甲烷浓度以及控制其他沉积参数,在Mo衬底上沉积出微/纳米复合自支撑金刚石膜。实验表明,当微米金刚石膜层沉积结束后,在随后的沉积中,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的。当甲烷浓度达到20%以上时,金刚石膜生长面晶粒呈现菜花状的小晶团,膜体侧面已经没有了粗大的柱状晶,而是呈现出光滑的断口,对该层进行拉曼谱分析显示,位于1145 cm-1附近有一定强度的散射峰出现。这说明所沉积的晶粒全部变为纳米级尺寸。
戴风伟陈广超兰昊J.Askari宋建华李成明佟玉梅李彬黑立富吕反修
关键词：拉曼光谱
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