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教育部“春晖计划”(Z2022077)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：杨晓静吴小亮丁士华鲁云更多>>
相关机构：千叶大学西华大学更多>>
发文基金：教育部“春晖计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇热处理温度
  • 1篇微观结构
  • 1篇SOL-GE...
  • 1篇C轴
  • 1篇C轴取向
  • 1篇衬底
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇西华大学
  • 1篇千叶大学

作者

  • 1篇鲁云
  • 1篇丁士华
  • 1篇吴小亮
  • 1篇杨晓静

传媒

  • 1篇西华大学学报...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
衬底和热处理温度对ZnO薄膜的微观结构的影响
2013年
采用Sol-gel法,在普通载玻片和Si(100)上使用旋转涂覆技术制备了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜。利用XRD和SEM研究了衬底和热处理温度对ZnO薄膜的物相结构、表面形貌和(002)定向性的影响。结果表明,sol-gel旋涂法制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,玻璃衬底上生长的ZnO薄膜为多晶形态,Si(100)衬底表现出更优取向生长特性。随着热处理温度的升高,c轴择优取向程度逐渐增强,晶粒尺寸逐渐增大,ZnO的晶格参数先增加后减小。当温度在700℃时长出明显的柱状晶粒。
吴小亮丁士华杨晓静鲁云
关键词：SOL-GEL法C轴取向ZNO薄膜
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