“上海－应用材料研究与发展”基金(06SA01)
- 作品数：4 被引量：21H指数：2
- 相关作者：李刚赵建龙金庆辉周洪波姚源更多>>
- 相关机构：中国科学院上海交通大学中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划“上海－应用材料研究与发展”基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：医药卫生自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 简易低成本柔性神经微电极制作方法被引量：14
- 2007年
- 提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放。整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积。测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期。
- 周洪波李刚张华孙晓娜姚源金庆辉赵建龙任秋实
- 关键词：柔性微电极神经假体聚酰亚胺牺牲层
- 针型神经微电极制作技术进展及其在脑机接口中的应用被引量：2
- 2007年
- 近年来,植入式神经微电极已成为神经科学和微电子学一个新的研究热点。本文对植入式神经微电极中最常用的针型微电极制作技术的发展、研究现状以及在脑机接口中的应用进行了较为详细地综述,并讨论了各种制作方法的特点和局限,展望了该领域进一步研究的方向。
- 姚源李刚金庆辉赵建龙
- 关键词：脑-机接口神经假体微机电系统
- 植入式双面柔性神经微电极制作方法的研究被引量：9
- 2007年
- 为了减小植入损伤,提高神经微电极刺激或记录的空间密度,提出了一种基于聚合物基质材料的植入式双面柔性神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide7510)作为微电极的基质材料,通过粘结剂局部键合和电化学腐蚀牺牲层的方法实现电极翻转以制作反面电极。同时采用了一种基于应力集中的凹槽结构,以保证所得微电极形状的规整性。微电极的SEM和电学性能测试结果表明,微电极的结构形貌和电学性能满足植入式电极的要求。
- 周洪波李刚金庆辉赵建龙任秋实
- 关键词：柔性微电极
- 钨丝微电极阵列的简易制备方法
- 2009年
- 本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制。最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定。整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本。此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性。
- 姚源李刚张华周洪波孙晓娜朱壮晖隋晓红赵建龙
- 关键词：微细加工钨丝微电极阵列
