安徽高校省级自然科学研究基金(KJ2013A106)
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
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- 相关机构：华中科技大学大连理工大学安徽理工大学更多>>
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- 电场局域增强激励表面波放电的近期研究
- <正>引言最近几年,低功率微波放电的研究获得了足够重视,原因在于微波放电具有潜在的应用价值。例如,超燃冲压发动机点火技术,其燃料高速流动,传统的点火技术难于奏效,微波放电点燃高速燃料的研究可以解决该科技难题;再如,低气压...
- 陈兆权刘明海夏广庆郑晓亮胡业林李平胡希伟
- 文献传递
- 气体压强及表面等离激元影响表面波等离子体电离发展过程的粒子模拟被引量：7
- 2013年
- 基于表面等离激元(SPP)的表面波等离子体(SWP)源,具有高密度、低温度及高产率等优异性能,其应用在电子器件微纳加工、材料改性等领域.但由于SPP激励SWP放电的电离过程难于用理论分析和实验测量描述,因而SWP源均匀稳定产生的电离发展过程一直未研究清晰.本文以SWP放电的数值模拟为研究手段,采用等离子体与电磁波相互作用的粒子模拟(PIC)方法,结合蒙特卡罗碰撞(MCC)方法处理碰撞效应的优势,研究气体压强影响电离过程的电磁能量耦合机理.模拟结果表明SWP的高效产生是SPP的局域增强电场致使,气体压强能够改变波模共振转换的出现时刻而影响了SWP的电离发展过程.本文的研究成果展示了SPP维持SWP放电的电离过程,可为下一代米级SWP源的参数优化提供设计建议.
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- 关键词：表面波等离子体表面等离激元电离过程
- 负偏压离子鞘及气体压强影响表面波放电过程的粒子模拟被引量：1
- 2014年
- 由于表面电磁波沿着介质-等离子体分界面传播,而很难通过对传统的表面波等离子体(SWP)源施加负偏压实现金属材料溅射,因此限制了SWP源的使用范围.近期,一种基于负偏压离子鞘导波的SWP源克服了这个问题,且其加热机理是表面等离激元(SPP)的局域增强电场激励气体放电产生.但是该SWP源放电过程的影响因素并未研究清晰,导致其最佳放电条件没有获得.本文采用粒子(PIC)和蒙特卡罗碰撞(MCC)相结合的模拟方法,探讨了负偏压离子鞘及气体压强影响SWP电离发展过程的放电机理.模拟结果表明,负偏压和气体压强的大小影响了离子鞘的厚度、SPP的激励和波模的时空转化,从而表现出不同的放电形貌.进一步分析确定,在负偏压200 V左右和气体压强40 Pa附近,该SWP源的放电效果最佳.
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- 关键词：表面波等离子体表面等离激元
