国家教育部博士点基金(20020358024)
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- 陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究
- 2005年
- 研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法.利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构.利用该工艺制作了微陶瓷反应器.
- 王俊郭育华朱学林刘刚田扬超
- 关键词：光刻注塑
- 陶瓷微结构的制作研究
- 2006年
- 研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法。首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具。模压后,溶去模具,在1 700℃烧结成型。利用这种工艺,获得了宽度23μm,高度400μm的陶瓷微结构。同时,利用该工艺进行了陶瓷微反应器的初步研制,实现了陶瓷微管道的加工。
- 王俊刘刚熊瑛郭育华朱学林田扬超
- 关键词：压模
- 陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究
- 研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法。利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构。利...
- 王俊郭育华朱学林刘刚田扬超
- 关键词：光刻注塑
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