国家自然科学基金(60806038)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 相关作者：余隽唐祯安冯冲吕安新孙长宇更多>>
- 相关机构：大连理工大学大连民族大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于微型传感器的近场辐射传热实验方法研究
- 2018年
- 面向二氧化硅(SiO2)材料开展了近场辐射传热实验测量方法研究,其核心工作是近场热辐射传感器设计。首先,基于电磁波理论以两个平行的SiO2平板为对象分析近场热辐射的特性并以此确定近场热辐射传感器的关键参数;其次,根据近场热辐射的作用效果确定实验方案并设计相应的近场热辐射传感器;再次,基于经典传热理论确定实验模型,以及设计传感器的微加工工艺;最后,本实验方法在其他介质的近场辐射传热测量中的应用。
- 冯冲张俊星施展唐祯安余隽
- 关键词：微型传感器二氧化硅
- 复合薄膜热导率测试系统研究被引量：2
- 2010年
- 针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统，设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统。该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成。软件编程在LabVIEW平台上实现。利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅溥膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率。在10．4Pa真空中，测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12W／（m·K），其热导率随着温度升高而增大，测试结果和理论值一致。实验表明：系统测试效率高、通用性好，且易于扩展。
- 吕安新余隽唐祯安冯冲
- 关键词：微机电系统悬臂梁
- 薄膜微量热计的信号采集与处理模块设计被引量：1
- 2012年
- 薄膜微量热计是测量亚微米厚度薄膜热动力学特性的重要手段,针对薄膜微量热计的脉冲扫描量热测试方法改进了系统的信号采集与分析模块。微量热计原始信号经高精度仪用放大电路后,由高速数据采集卡采集送入PC机;采用LabVIEW软件编写的控制程序并采用Matlab软件实现数据的分析处理。对加载了70 nm厚度In薄膜的微量热计进行热容测试,观测到了In薄膜的熔化峰和熔点,表明系统具有足够高的信噪比和检测灵敏度。
- 孙长宇吴昊余隽唐祯安
- 关键词：信号采集模块热容
