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国家自然科学基金(60806036)

作品数:6 被引量:7H指数:2
相关作者:方玉明徐琳郄军建李伟华更多>>
相关机构:南京邮电大学东南大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金资助项目江苏省高校自然科学研究项目更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 6篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学

主题

  • 4篇PULL-I...
  • 3篇执行器
  • 3篇微执行器
  • 3篇MEMS
  • 1篇电容
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇平板
  • 1篇平板式
  • 1篇微机械
  • 1篇衔铁
  • 1篇宏模型
  • 1篇分布参数
  • 1篇串联电容
  • 1篇磁阻

机构

  • 6篇南京邮电大学
  • 2篇东南大学

作者

  • 6篇方玉明
  • 2篇李伟华
  • 2篇郄军建
  • 2篇徐琳

传媒

  • 3篇半导体技术
  • 2篇微电子学
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2009
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析被引量:1
2009年
与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题。但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少。对于宏观器件,由于磁芯磁阻可以忽略,所以可利用电磁类比,得到Pull-in失稳参数。而对于微观器件,磁芯磁阻不可以忽略,不可利用电磁类比。基于小信号模型对衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in的失稳现象首先进行了分析和建模,考虑了微磁芯磁阻,在建立磁微执行器动态小信号模型的基础上,分析发现衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象。然后又采用能量法研究了同样的Pull-in失稳问题,得出了和力法相同的结论。最后,给出了一个分析实例,以反映微磁芯磁阻对Pull-in的影响,同时证实了衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象的结论。结论对于磁微执行器的设计具有重要意义。
方玉明李伟华
关键词:MEMS微执行器PULL-IN
平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析被引量:3
2012年
基于求不考虑边缘电容的静电微执行器动态Pull-in参数的能量分析法,并结合边缘电容的模型推导出考虑边缘电容情况下静电微执行器的动态Pull-in参数的计算方法。将不考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数和考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数进行比较,得到这两种条件下静电微执行器的动态Pull-in参数的不同以及边缘电容对静电微执行器动态Pull-in参数的影响:考虑边缘电容的Pull-in电压小于不考虑边缘电容的Pull-in电压;在边缘电容模型下,平行板长度的变化对Pull-in电压的影响很大,但是对Pull-in位移却没有影响,平行板宽度的变化对Pull-in电压的影响较小,但是对Pull-in位移的影响很大。
徐琳方玉明郄军建
关键词:微机械微执行器
串联电容对扭转静电微执行器Pull-in稳定的影响
2011年
在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in电压值是至关重要的。针对扭转式静电微执行器,采用串联电容方法来拓宽MEMS执行器的Pull-in行程,提出了相应的Pull-in模型,并给出了算例的数值结果。这些结果对扭转式静电微执行器的设计具有一定的参考价值。
方玉明
关键词:PULL-INMEMS
驱动电极位置对扭转式静电微执行器Pull-in行程的影响被引量:2
2012年
Pull-in失稳问题是静电微执行器的关键问题之一。为了提高静电微执行器的Pull-in稳定行程,提出了一些方法,例如采用串联电容等。对于扭转式静电微执行器,提出通过改变驱动电极位置的方法来改变Pull-in位置与Pull-in电压,导出了驱动电极位置与Pull-in参数的计算模型。实例计算结果表明,改变电极位置可以使扭转式静电微执行器达到满行程。这些结果对于扭转式静电微执行器Pull-in位置的设计具有较好的参考价值。
方玉明
关键词:PULL-INMEMS
考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型
2012年
Pull-in参数是设计磁微执行器时需要考虑的一项重要参数。研究漏磁效应对Pull-in参数的影响时,通常采用有限元法求数值解,需要反复重新建模,工作量大,因而需要一个解析模型。对于平行平板式磁微执行器,给出了详细的漏磁阻模型。将漏磁阻的解析式带入到Pull-in方程组中便可得到一对考虑了漏磁影响的Pull-in参数。利用有限元法对器件的Pull-in特性进行了仿真。将考虑漏磁影响的理论值和不考虑漏磁影响的理论值分别与有限元分析结果做对比,结果表明,不考虑漏磁影响时,Pull-in参数的误差随着极板间距的增大而增大。利用漏磁阻模型求出的Pull-in参数具则有良好的精度,并且相对误差不随极板间距的增大而增大。
郄军建方玉明徐琳
关键词:PULL-IN有限元法
静磁微执行器模型研究进展被引量:1
2009年
磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点。静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广阔的应用前景。综述了国内外静磁微执行器模型的最新进展,分析了各类模型的优缺点,特别强调了在微观领域,不能通过简单的电-磁类比得到相应的磁微执行器的各类模型。讨论了磁微执行器的各种典型的pull-in模型。这些模型对磁微执行器的设计、分析与优化具有重要的参考和实用价值。
方玉明李伟华
关键词:分布参数宏模型
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