国家重点基础研究发展计划(973-1000707-LB7)
- 作品数：4 被引量：11H指数：2
- 相关作者：陈兴林王一光王岩贾琪郑燕红更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江省工业技术研究院哈尔滨工程大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于迭代学习的掩模台与工件台同步控制被引量：2
- 2013年
- 针对光刻机掩模台与工件台在曝光扫描过程中必须保持运动同步的问题,提出了一种迭代学习同步控制方法.为提高系统的动态跟踪精度和带宽,采用以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构,建立了掩模台的动力学模型.提出的主从同步控制结构以工件台为主动系统、掩模台为从动系统,在常规反馈控制的基础上加入了同步控制器.根据迭代学习控制方法设计了二阶同步学习律,并证明了该学习律的收敛性.仿真结果表明同步学习算法可以明显地减小同步偏差,同步偏差的峰值和移动标准差随迭代次数的增加而不断减小,在50次迭代后分别减小了45.12%和36.84%.
- 武志鹏陈兴林王岩
- 关键词：迭代学习控制主从控制工件台
- 光刻机工件台宏动三自由度建模及自适应神经网络控制被引量：4
- 2015年
- 提出了一种工件台宏动三自由度建模方法以解决光刻机工件台宏动部分在X和Y方向的运动耦合问题并实现它的超精密长行程微米精度的跟踪定位。该建模方法将X方向电机的偏转角度作为被控对象并且在模型中包含了耦合效应对X方向运动的影响。基于此模型提出了一种自适应神经网络控制策略,该策略采用径向基函数(Radial Basis Function,RBF)神经网络对模型参数信息及外界非线性扰动进行实时在线估计,以减小未建模动态、电机齿槽力波动、端部效应、摩擦等扰动对控制系统性能的影响。通过对控制策略的理论推导和稳定性分析,保证了闭环控制系统的收敛性。最后在光刻机工件台上进行了S曲线跟踪定位试验,验证了宏动三自由度建模方法和控制策略的效果。试验结果显示:X和Y方向的位置跟踪误差均小于3μm,X方向电机偏转角度小于1μrad,满足工件台宏动部分跟踪定位精度的要求。
- 王一光陈兴林李晓杰
- 关键词：光刻机自适应神经网络
- 空间光通信系统可靠性设计与实现被引量：3
- 2010年
- 提出了光通信系统可靠性设计的硬件和软件方法,设计和实现了一种新的高可靠性代码存储方法,对用传统的FLASH存储加载程序与用FRAM存储加载程序的方法进行了对比,通过将代码存放在FRAM中,用SPI引导加载的方法有效提高了代码存储加载的安全性.
- 王岩杨奇峰贾琪郑燕红
- 关键词：光通信引导加载FRAM
- 基于PMLM的PD~μ运动控制器的设计研究被引量：2
- 2014年
- 近年来随着非整数阶微积分理论的不断完善,使分数阶微积分在控制方面的应用受到越来越多的关注。特别是分数阶PIλDμ控制,在很多领域中得到了应用。针对运动控制系统中经常采用的比例微分控制器,提出了一种分数阶PDμ控制器的设计和整定方法。由于所设计系统的相角裕度与超调量有确定的对应关系,所以通过对相角变化率的设计可以使系统相角在剪切频率附近保持稳定,从而减小系统开环增益波动对超调量的影响。以给定的剪切频率ωc和相角裕度γm作为设计指标,由系统相频特性方程和相角变化率方程可以确定PDμ控制器的微分阶次μ和微分系数Kd,通过剪切频率点的幅频特性方程可以确定比例系数Kp。将方法应用于一个直线运动控制试验台,通过与整数阶ITAE最优控制方法进行的对比仿真和试验验证了方法的有效性和优越性。由试验结果可以看出,在保证系统设计指标的前提下所设计的PDμ控制器对于系统参数波动引起的超调量的变化具有很好的抑制作用。
- 王一光陈兴林李晓杰
- 关键词：分数阶微积分分数阶控制器运动控制
