国家科技重大专项(2013ZX04007021)
- 作品数：7 被引量：47H指数：4
- 相关作者：孙强吴宏圣刘阳王鹤许家林更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程生物学一般工业技术更多>>
- 增量位移集成光电传感器设计被引量：6
- 2013年
- 为了提高处理增量位移信息的集成光电传感器输出信号的有效精度,降低输出阻抗,以保证光电传感器的性能。基于0.35μm CMOS工艺,采用Cadence设计了1款用于处理增量位移信号的光电传感器,并对关键参数进行了理论推导以及验证。实验结果表明,该光电传感器输出信号有效精度优于10 bit,输出阻抗低于5Ω,各项性能指标均符合行业标准,并且能够稳定地运行。
- 刘阳吴宏圣杨帆许家林
- 关键词：光电传感器输出阻抗
- 绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统被引量：7
- 2014年
- 提出了基于数字微镜器件(DMD)的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成。本文利用光学软件TracePro设计该光源,实现了能量的平顶分布,在14mm×10mm的照明面上均匀性达到95%以上。利用光学软件Zemax设计了工作在双波段(曝光光源0.403～0.407μm和调焦光源0.525～0.535μm)的共焦投影镜头,采用了二向色镜和分光棱镜使其能在曝光的同时进行实时调焦,优化后的系统在曝光波段和调焦波段均达到衍射极限,最大畸变为0.009%。与传统的光栅尺刻划技术对比,设计的曝光系统具有工艺简单、制作速度快、精度高等优势,可用于长、超长计量光栅的制作。
- 刘华卢振武熊峥王尧王鹤黄剑波谭向全孙强
- 关键词：数字微镜器件计量光栅
- 绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计被引量：1
- 2014年
- 简述了绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计方案。针对曝光光源均匀性、图案畸变、精确放大倍率等难点问题,设计了刻划装置的专业装调方案。同时利用刻划装置的物理样机进行曝光加工,得到了满足设计要求的母光栅码道图案。
- 郑黎明谭向全
- 基于DMD的红外场景模拟器图像数据传输和分割存储方法被引量：11
- 2015年
- 分析了DMD型红外场景模拟器相较电阻阵型在半实物仿真实验中没有广泛应用的原因。通过分析发现DMD型模拟器的数据传输带宽的大小和外同步触发延时长短对系统的实时性都有影响,并且指出图像接口的数据传输带宽高于有效带宽2倍时才能满足系统仿真的高实时性要求。设计了满足实时性要求的专用千兆网的硬件,具有极小的延时时间并且满足UDP/IP协议的数据传输软件和有利于DMD灰度显示高实时性的图像分割和存储的方法。实验验证了该方法能够传输100 Hz以上的分辨率为1024×768的8位灰度图像,而外同步触发信号与系统播放开始信号延时仅为70μs,并具有良好的稳定性。
- 许家林王晓东李丙玉王鹤孙强
- 关键词：半实物仿真DMD千兆网位平面
- 基于沙漠蜥蜴体表仿生凹坑形态的抗冲蚀磨损机理分析被引量：3
- 2015年
- 根据生物进化的科学理论和逻辑,分析了沙漠蜥蜴抗风沙冲蚀磨损的进化策略选择,并提出了风是风沙冲蚀磨损的主要因素和研究风沙冲蚀的主要矛盾点.在仿沙漠蜥蜴体表形态提取的典型凹坑形态的基础上,采用数值模拟和理论分析相结合的方法,分析了具有凹坑形态表面的空气流场形式,解释了仿生凹坑形态抗冲蚀磨损的机理,补充了沙漠蜥蜴抗风沙冲蚀的进化策略,为工程仿生设计提供了理论参考.
- 张雪鹏
- 关键词：仿生凹坑冲蚀磨损
- 绝对式光栅尺细分误差补偿方法被引量：20
- 2015年
- 为了提高绝对式光栅尺的细分精度,提出了一种细分误差补偿方法。对绝对式光栅尺A、B两路叠栅条纹信号进行傅里叶分析,建立叠栅条纹信号模型;对信号模型中的相位、振幅、谐波、直流分量进行校正,得到理想叠栅条纹信号的模型;对比实际信号模型和理想信号模型的细分位置,得到绝对式光栅尺的细分误差;根据该误差对细分值进行补偿,提高细分精度。通过使用JC09型绝对式光栅尺对该方法进行验证,可使其细分相对误差从2.70%降低到1.05%。实验结果表明,该方法能够有效地提高绝对式光栅尺细分精度,且该方法具有原理简单、易于实现的优点。
- 乔栋续志军吴宏圣曾琪峰刘阳孙强
- 关键词：傅里叶分析叠栅条纹
- 绝对式光栅尺读数头滑架机构工作精度的分析
- 2014年
- 在数控机床的读数头滑架机构系统关键参数优化的研究中,针对物理实验中无法获取读数头滑架机构的某些关键参数的问题,为了获得滑架机构的工作精度性能,采用虚拟仿真技术,结合读数头滑架机构的结构特点和具体工作要求,采用UG和ADAMS建立了机构的动力学仿真模型;通过求解与仿真,分析了多种参数对相对位移、间隙、夹角的影响规律,分析结果表明计量光栅的变形是影响工作精度的主要因素,最终给出了两种特定工况下的参数优化设置。参数优化后读数头滑架机构能够满足相对位移、间隙、夹角的工作要求,具有优异的工作精度性能。虚拟样机方法能够为读数头滑架机构的工作精度性能优化提供了有效的解决方案。
- 郑黎明黄剑波
- 关键词：读数头虚拟样机仿真
