国家自然科学基金(60725414)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 相关领域：自动化与计算机技术理学化学工程更多>>
- 自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测(英文)
- 2011年
- 使用了一种在自组装单分子层(SAM)模板衬底上由电化学氧化还原自发生长的方法,择优取向生长氧化亚铜(Cu2O)微晶.通过扫描电子显微镜和微区XRD等方法对合成的Cu2O晶体进行了形貌和结构表征.结果表明:合成的样品为立方结构的Cu2O晶体,且形貌、取向和颗粒尺寸得到了有效控制,此结果可归结为SAMs对电化学氧化还原过程的影响和结晶过程中的模板效应.利用该方法,将Cu2O晶体生长于静态式微悬臂梁的表面作为敏感层,制得了一种新型的化学传感器.基于Cu2O晶体表面的Cu(I)与DMMP(甲基膦酸二甲酯,沙林模拟剂)分子中的膦酰基团之间存在的配位作用,该传感器可对几十ppb的DMMP重复响应.
- 杨天天许鹏程左国民李昕欣
- 关键词：氧化亚铜自组装单分子层气体传感器
- 服务于微电子产业的MEMS新技术被引量：2
- 2009年
- UV-LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术。结合厚胶工艺,可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV-LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容,被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面,还可以将金属电镀工艺与硅微机械技术相结合,制作出用于圆片级测试的微机械探卡。文中主要介绍这种有产业前景的技术及其在器件制作上取得的成果。
- 程融蒋珂玮李昕欣
- 关键词：电镀
- 用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器被引量：1
- 2011年
- 采用化学修饰法,将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中,然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面,制得一种高性能的挥发性胺类同系物传感器。胺类分子的吸附将导致质量型微悬臂梁传感器谐振频率的下降,传感器检测下限可达ppb量级。对一系列胺类同系物的检测结果表明,胺类分子在羧基功能化介孔表面的吸附程度与其气相碱度强弱有关。
- 杨天天于海涛许鹏程李昕欣
- 关键词：微电子机械系统化学传感器微悬臂梁介孔材料
- UV-LIGA metal MEMS:A promising tool to serve IC industry
- Metal MEMS structures can be formed by metal electroplating with the aid of thick-photoresist molds. The micro...
- Lei GuZhengzheng WuFei WangRong ChengKewei JiangXinxin Li
