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国家自然科学基金(50571050)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：何悦毕磊冯嘉猷更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇分相
  • 1篇镍
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇冯嘉猷
  • 1篇毕磊
  • 1篇何悦

传媒

  • 1篇江苏大学学报...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
镍诱导纳米晶硅薄膜的生长被引量：1
2007年
采用磁控溅射方法制备了含镍过渡层的富纳米晶硅二氧化硅薄膜.对薄膜退火后的微观结构和发光性能进行了试验分析.结果表明,在高温退火后,有Ni过渡层的富纳米晶硅薄膜较没有Ni过渡层的薄膜具有更高的纳米晶硅密度和更强的室温光致发光强度.对试验结果进行热力学分析后,认为NiSi2作为纳米晶硅的形核中心诱导了薄膜的分相和纳米晶硅生长.
冯嘉猷何悦毕磊
关键词：光致发光磁控溅射分相
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