研究了声表面波实现数字微流体在压电基片上跨越障碍物的方法。在128°YX-LiNbO3压电基片上采用微电子工艺制作了中心频率为25.5MHz的叉指换能器和反射栅,在声传播路径上涂覆Teflon AF 1600疏水薄膜,聚二甲基硅氧烷垫块贴合于压电基片上。经功率放大器放大的射频信号加于叉指换能器激发声表面波,并作用在声路径上的数字微流体,在其内产生声流,当瞬间减少射频信号功率,部分液体因惯性力大于表面张力而飞离微流体,跃过聚二甲基硅氧烷障碍物,实现在压电基片上跨跃障碍输运。采用油包红色染料溶液微流体进行了实验,结果表明,当射频信号功率从12.3dBm瞬间下降到-3.98dBm时,油包红色染料溶液微流体可跃过高度1mm的障碍物。
