国家自然科学基金(60674068)
- 作品数：5 被引量：13H指数：2
- 相关作者：赵新卢桂章谭宜勇李毅堂何维玮更多>>
- 相关机构：南开大学北京大学天津师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 基于体绘制技术的虚拟光刻系统建模与实现
- 本文提出了基于体绘制技术的虚拟光刻系统。该系统支持BMP格式掩膜图形输入,拥有完整的衍射和驻波模型。与其他光刻模拟器相比,本系统最大的特点是实现了仿真结果的三维可视化,并支持旋转、剖切等交互式操作,使用户能够更好地观察光...
- 张启程孙广毅赵新王俊伟金纯卢桂章
- 关键词：衍射驻波体绘制
- 文献传递
- 参数化的MEMS器件可视化建模方法-虚拟组装
- 在MEMS设计领域,器件的建模和仿真始终是研究的热点,同时也是MEMS设计过程中至关重要的环节。因为MEMS器件的三维结构属性以及机械运动特性,本文提出了参数化的MEMS器件可视化建模方法和工具——虚拟组装。虚拟组装不仅...
- 王磊赵新卢桂章
- 关键词：MEMS可视化建模
- 文献传递
- 基于IP数据库的MEMS设计系统被引量：2
- 2008年
- 针对MEMS设计系统中机械性能仿真不足、设计与加工脱节、缺少工艺验证等问题,借鉴了IC设计可重用思想,引入了具有知识产权的功能模块——IP的概念,提出了基于IP库的MEMS设计方法。该方法是Top-Down和Bottom-Up设计相结合的方法,其核心是MEMSIP库,关键技术包括IP库、虚拟工艺、虚拟运行等,分别对应IP管理、工艺级仿真系统以及器件行为级仿真系统。最后以电容式微加速度计设计为例,对双梁、四梁、疏齿等6种不同的结构分别进行了设计仿真、流水加工、封装和测试的过程,完成了器件从设计到成品的整个流程,验证了本文提出的设计方法和设计系统的有效性和正确性。
- 谭宜勇卢桂章赵新王磊
- 关键词：MEMSIP库
- KKK算法研究及改进
- 2010年
- 研究一种为RFID标签和低运算能力设备建立动态密钥的算法——KKK算法,探讨算法的原理及发展现状。建立KKK算法仿真环境,在此基础上对各类KKK类算法进行比较。提出一种新的KKK类算法——KKK干扰算法,该算法与目前安全性较高的KKK-询问算法相比,性能效率更高。
- 姜丽芬李章林
- 面向微加工的虚拟光刻系统建模与实现被引量：1
- 2009年
- 提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D。该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型,实现了投影式光学光刻的三维模拟。它拥有标准的GDSII、CIF版图格式接口和支持各种光学参数(包括数值孔径、波长、离焦量,光刻胶厚度、表面折射率等)的模拟设置。模拟结果的显示采用了体绘制与网格相结合的方法,增强了结果的可视性。此外,光刻模拟结果可以直接导入到虚拟工艺系统ZProcess中作为刻蚀工艺的掩膜输入,实现了光刻工艺与其他微机电系统(MEMS)工艺模拟的无缝集成。一系列模拟结果验证了该系统的可行性。
- 孙广毅赵新卢桂章
- 关键词：微加工光刻
- 电容式微加速度计的研制被引量：4
- 2008年
- 以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
- 谭宜勇金桐苏卫国赵新卢桂章
- 关键词：MEMS电容式微加速度计
- 基于AD7745的微电容加速度计测量电路设计与实现被引量：6
- 2008年
- AD7745是世界上首款24bit数字输出的电容读取芯片,可以测量一对差分电容。它的输入共模偏置电容最大可到17PF,输入电容变化范围为±4pF,采样频率/通频带为10Hz到90Hz。基于AD7745的微电容加速度计测量电路系统有两种输出方式:一方面通过16bit的D/A将数字信号转换成模拟电压信号,实时输出到示波器;另一方面可将AD7745的24bit输出结果通过串口输入到计算机里,由计算机实现波形显示、分析。对PCB布线进行优化后,试验测得采样频率为90.9Hz时,AD7745数据的实际有效位数为14.5bit,对应分辨率为0.37fF。
- 何维玮赵新李毅堂卢桂章
- 关键词：电容式微加速度计测量电路
