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湖北省科技攻关计划(2005AA101C04)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
姜胜林
曾亦可
吴帮军
邓传益
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相关机构:
华中科技大学
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
湖北省科技攻关计划
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相关领域:
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姜胜林
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电子元件与材...
年份
1篇
2007
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VO_x薄膜的sol-gel法制备
被引量:1
2007年
通过对工艺条件的研究,解决了钒有机溶胶与基片的亲水性问题,提出了成膜牢固的亲水处理方法,制备出了无裂纹、致密性好的VOx薄膜。测量结果表明,520℃热处理条件下的VOx薄膜样品的平均电阻温度系数达到了3.95%K–1。而470℃热处理下的VOx薄膜样品,其升降温阻温特性一致性很好,可用作高灵敏度红外探测器敏感元材料。
曾亦可
吴帮军
姜胜林
邓传益
关键词:
电子技术
VOX
SOL-GEL
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