您的位置： 专家智库 > >

广东省中国科学院全面战略合作项目(2009B091300006)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：刘国强周崇喜张锦更多>>
相关机构：西安工业大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：广东省中国科学院全面战略合作项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇光刻
  • 1篇干涉光刻

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇西安工业大学
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇张锦
  • 1篇周崇喜
  • 1篇刘国强

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
三光束激光干涉光刻的实现方法被引量：6
2011年
分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性。利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光,对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期600nm、高度350nm的蜂窝状点阵,测量结果表明该系统具有很好的图形重复性和稳定性,同时降低了对于光学光路的精密性要求。
刘国强张锦周崇喜
关键词：干涉光刻
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0