国家自然科学基金(1042740)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
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- 相关领域：一般工业技术电气工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 热振动法标定微悬臂梁法向弹性系数
- 2007年
- 微机械加工制造的微悬臂梁(探针)作为原子力显微镜中的核心组件,已经成为微米纳米尺度下科学研究的重要工具,能否准确标定微悬臂的弹性系数将影响所测力学量的最终结果。介绍了利用热噪声法标定探针的方法,分析了热振动法的原理及其修正公式。通过改进AFM系统的光路和位移检测器的前置放大电路,提高了探针法向弹性系数标定方法的精度,并设计了升温装置,对热噪声法的校正公式进行了验证,结果表明,实验与理论公式可以比较好的吻合。
- 封玮左燕生林云生韩立
- 关键词：微悬臂梁原子力显微镜热振动
- 压电扫描器非线性校正的实验研究被引量：4
- 2007年
- 针对扫描探针显微镜的压电扫描器提出一种非线性校正方法。利用双频激光干涉仪对压电扫描管的位移-电压曲线进行测量,设计非线性校正算法,修正控制电压以实现对压电扫描管非线性校正,将该方法应用于扫描探针显微镜。实验表明该方法能实现压电扫描器的非线性校正。
- 李晓娜韩立左燕生奚爽
- 关键词：扫描探针显微镜非线性校正双频激光干涉仪
