国家自然科学基金(60808005)
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
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- 多晶硅片反应离子刻蚀制绒后扩散工艺的匹配性被引量：8
- 2013年
- 研究了多晶硅片在反应离子刻蚀制绒后与扩散工艺的匹配性.在相同的扩散工艺下,反应离子刻蚀制绒后硅片的方块电阻值比酸制绒工艺硅片的方块电阻值高3～11Ω/□,而且其方块电阻不均匀度值约为普通酸制绒工艺硅片的方块电阻不均匀度值的80%.测试了反应离子刻蚀制绒后多晶硅太阳能电池的外量子效率,其外量子效率在340～1 000nm波段范围与酸制绒多晶硅太阳能电池相比提高了约10%.对反应离子刻蚀制绒电池的电性能进行了分析,提出了与反应离子刻蚀制绒工艺匹配的高方阻扩散工艺.通过优化调整扩散工艺气体中的小氮和干氧流量,获得了在80Ω/□方块电阻下,反应离子刻蚀制绒多晶硅电池的光电转换效率提升至17.51%,相对于酸制绒多晶硅电池的光电转换效率提高了0.5%.
- 豆维江秦应雄巨小宝李锴徐挺
- 关键词：多晶硅片扩散方块电阻
- 基于传输矩阵的激光谐振腔模式计算被引量：7
- 2008年
- 建立了激光谐振腔往返传输矩阵,通过求解往返传输矩阵的特征值与特征向量,获得了激光谐振腔模式特征。该方法可以用于快速计算同阶贝塞耳函数的所有谐振腔模式和衍射损耗,其结果与Fox-Li数值迭代方式计算结果完全一致。分别就对称谐振腔往返传输矩阵的A^2与单程传输矩阵A的特征值及特征向量之间的关系和物理意义,以及非对称谐振腔往返传输矩阵AB与BA的特征值及特征向量之间关系和物理意义进行了分析和讨论,建立了数学表达式,并可以通过改变传输矩阵来提高计算效率。分析了对称共焦腔离散单元数量对光腔模式计算结果的影响,建立了最佳离散单元数量与谐振腔镜片半径的关系表达式,并实现了大菲涅耳系数共焦腔模式的计算。
- 秦应雄唐霞辉钟如涛李正佳
- 关键词：激光技术激光谐振腔传输矩阵特征值特征向量
- 高功率高光束质量环形凹面镜激光谐振腔
- 2010年
- 激光谐振腔是激光系统的核心部件，常用球面镜激光谐振腔难以在短增益介质下同时获得高功率和高光束质量的激光输出。为此，我们提出了如图1所示的环形凹面反射镜激光谐振腔，该谐振腔由一个环形凹面反射镜和一个平面输出镜组成。对环形凹面镜曲率半径为15m，腔长为3m，光阑半径为16mm（以10．6μm的CO2激光波长来计算，菲涅耳系数为8．05）的一个环形凹面镜激光谐振腔进行数值模拟，
- 秦应雄唐霞辉朱晓李正佳肖瑜柳娟彭浩邓前松
- 关键词：激光谐振腔高光束质量凹面镜高功率曲率半径
- 单放电盒5kW横流CO_2激光器气体流动特性研究
- 2014年
- 为了解决传统双放电盒横流5kW CO2激光器双风道、风速小、体积庞大等问题,研究开发了单放电盒横流5kW CO2激光器,采用气体动力学、放电区气体流场分析的方法,在保证风机强度的前提下根据通风机原理设计了一款铝质轻型离心风机,风机的进口直径为382mm,出口直径为451mm,蜗壳宽度为160mm,并进行了实验验证。结果表明,配置该风机的单放电盒的5kW CO2激光器提高了功率稳定性,放电区气体平均流速从60.8m/s提高到75.5m/s,缩小了弧光放电的面积,改善了近场光斑的强度及均匀性,采用铝制风机及单放电盒减小了激光器的整体重量和体积。这对CO2激光器向高功率、小体积、紧凑型发展具有重要意义。
- 杨卫红唐霞辉肖龙胜周泳全
- 关键词：激光器横流CO2激光器气体动力学离心风机流场分析
