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国家自然科学基金(50375083)

作品数:3 被引量:8H指数:2
相关作者:叶雄英周兆英郭琳瑞谭苗苗王晓浩更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇纳米
  • 3篇纳米管
  • 2篇碳纳米管
  • 2篇微机电系统
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇电泳沉积
  • 1篇中碳
  • 1篇敏感特性
  • 1篇纳机电系统
  • 1篇感器
  • 1篇DEP
  • 1篇场发射
  • 1篇场致发射
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇周兆英
  • 3篇叶雄英
  • 2篇郭琳瑞
  • 1篇梁吉
  • 1篇王晓浩
  • 1篇陈烽
  • 1篇伍康
  • 1篇谭苗苗
  • 1篇刘力涛

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 1篇清华大学学报...

年份

  • 3篇2006
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
定向多壁碳纳米管薄膜及其场致发射距离敏感特性被引量:1
2006年
研究了定向生长的多壁碳纳米管薄膜场致发射的距离敏感特性,以改进现有场发射传感器中硅及金属针尖的性能。化学气相沉积方法制备的多壁碳纳米管薄膜表现出良好的尖端放电特性,其开启电场可至1.42 V/μm,阈值电场可至2.22 V/μm,通过计算得到的尖端电场增强因子可至4 034以上。随着发射间距的增加,场致发射电流非线性地降低,发射电流对发射间距的最大变化率为0.018 8μA/μm。通过拟合分析发现,场致发射电流随发射间距的变化基本符合Fow ler-N ordhe im关系,该特性可作为碳纳米管场致发射传感器的基本原理用于位移的检测。
郭琳瑞叶雄英周兆英梁吉
关键词:微机电系统传感器场致发射碳纳米管
利用DEP和流体驱动的碳纳米管组装研究被引量:5
2006年
碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键.本论文分别采用电泳和流体驱动方法对两种不同的多壁碳纳米管进行了排布组装研究.电泳过程中频率一定时,增加电压或电泳时间,碳管沉积的密度增加;流体排布组装过程中,适当的流体速度得到较好的排布效果;较直的碳管取得更好的排布组装效果.同时根据实验结果对电泳和流体驱动两种组装方法的优势和问题进行了比较,结果表明,介电电泳组装能实现在电极间的定位组装,流体排布组装可实现较大面积的均匀排布.
谭苗苗叶雄英王晓浩周兆英
关键词:碳纳米管
MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究被引量:2
2006年
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V^4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
郭琳瑞陈烽叶雄英刘力涛伍康周兆英
关键词:场发射
共1页<1>
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