中国工程物理研究院科学技术发展基金(2005Z0805)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 相关作者：李建国梅军胡东平更多>>
- 相关机构：中国工程物理研究院中南大学中南工业大学更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术更多>>
- 超纳米金刚石薄膜及其在MEMS上的应用研究进展被引量：7
- 2008年
- 硅基MEMS器件最主要的问题是硅具有低的机械和摩擦性能,限制了其在弯折和运动MEMS器件中的应用。超纳米金刚石薄膜优异的机械、化学惰性、热稳定性、摩擦磨损性能使其成为能长期可靠运行的理想MEMS元件材料。阐述了微波化学气相沉积和Ar、CH4为主的超纳米金刚石薄膜的制备及其机理,综述了超纳米金刚石薄膜与MEMS相关性能及在微摩擦磨损、残余应力方面的研究现状,介绍了超纳米金刚石薄膜覆形沉积、选择性生长和光刻图形化等微加工技术及其在MEMS上的应用研究进展。
- 李建国丰杰梅军
- 关键词：MEMS微加工技术
- 反应气体对纳米金刚石薄膜的显微力学特性影响被引量：2
- 2009年
- 本文采用电子辅助增强热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,CH4/H2、CH4/H2/Ar气体和不同比例的四种气氛制备了纳米金刚石薄膜,利用Raman光谱和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的结构和显微形貌,采用纳米压入测试技术测量了纳米金刚石薄膜的显微力学特性,获得了加载、卸载曲线,以及硬度和模量随压入深度的变化曲线。结果表明:薄膜具有明显的纳米结构特点,随着CH4、Ar浓度的增加,晶粒更加细化,表面粗糙度更低。无Ar气氛制备的纳米金刚石薄膜的弹性恢复较好,硬度和模量较高,CH4和Ar含量越低的制备气氛,其硬度和模量相对较高。
- 李建国丰杰胡东平梅军
- 关键词：纳米金刚石薄膜反应气体纳米压入
- 单双层加热结构对纳米金刚石膜形貌及摩擦性能的影响被引量：3
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积方法研究了CH4/H2体系不同沉积气压以及不同加热结构对金刚石薄膜组成及形貌的影响,并对其摩擦磨损性能进行了检测。结果表明:通过降低反应气体的压力和选择适当的碳源浓度的方法,可以获得纳米金刚石薄膜;采用双层丝加热,可以使颗粒尺寸及表面粗糙度控制在12 nm左右,并具有更低的摩擦系数,更好的耐磨性能。
- 丰杰李建国梅军胡东平
- 关键词：纳米金刚石热丝化学气相沉积
