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国家自然科学基金(2008GJKZ0069)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：汪金新汪洪波陈长琦更多>>
相关机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇真空
  • 1篇智能性
  • 1篇射频
  • 1篇快速性

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇陈长琦
  • 1篇汪洪波
  • 1篇汪金新

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
真空射频阻抗自动匹配方法分析被引量：5
2010年
本文介绍了真空射频电源使用时阻抗匹配的作用,阻抗自动匹配系统的实现方法,剖析了射频阻抗匹配器结构。在此基础上针对射频阻抗自动匹配目前所采用的算法和技术进行了研究,从控制系统的角度提出了从快速性、稳定性和智能性三方面来提高阻抗匹配的效率和匹配效果。最后对真空射频阻抗自动匹配系统广阔的应用前景进行了总结和展望。
汪洪波陈长琦汪金新
关键词：射频快速性智能性
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