北京市自然科学基金(4112049)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
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- 钼缓冲层对钼/铜叠层结构电极特性的影响被引量：1
- 2015年
- 采用直流磁控溅射方法制备了钼/铜叠层结构电极,其电阻率达到2.28μΩ·cm,显著低于铝钕合金的电阻率;金属钼作为缓冲层,提高了铜电极在玻璃上的附着力;钼作为阻挡层有效地阻挡了铜向非晶硅中的扩散,避免了铜对于薄膜晶体管有源层的影响。采用这种结构的电极作为大尺寸高分辨平板显示器的扫描线和数据线有望缓解信号延迟的问题。
- 李旭远薛唯喻志农薛建设张学辉柳逢春杨伟生
- 关键词：显示技术电阻率
- BaAl_2S_4:Eu溅射靶材合成方法研究被引量：3
- 2012年
- 采用放电等离子烧结(SPS)方法和粉末烧结法制备BaAl2S4:Eu溅射靶材,分析了靶材成分和结构特性以及利用靶材制备薄膜的发光特性.实验结果表明,SPS烧结的BaAl2S4:Eu溅射靶材的纯度高,无其它硫化物形成,被氧化的可能性小,靶材致密,气孔少;形成薄膜的PL谱主要是470nm处的蓝光发射.粉末烧结法制备的Ba-Al2S4:Eu溅射靶材的纯度低,靶材被氧化的几率大,气孔多,不致密,呈三维网状结构;在470nm处的蓝光发射峰值相对较弱.放电等离子烧结方法更适合制备BaAl2S4:Eu溅射靶材.
- 喻志农孔祥君张东璞薛唯
- 关键词：发光材料溅射靶材放电等离子烧结
