国家自然科学基金(60307006)
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- 用于红外探测的微型悬臂梁的结构模拟
- 一种用MEMS微加工技术制造的微型悬臂梁已经开始应用于红外探测技术中,悬臂梁由双层材料构成,衬底由硅、氮化硅等半导体材料制作,另一层则是一种热敏金属材料薄膜。在没有红外辐射情况下,悬臂梁的两侧表面应力是平衡的,而一旦有红...
- 邓大卫张流强温志渝
- 关键词：红外探测灵敏度
- 文献传递
- 基于自由空间光学的光机电混合集成技术
- 2010年
- 随着微加工技术和微分析技术的发展,人们已经可以把大型的机电系统或者光学系统微型化并进行某种程度的集成。但是,由于光学元件和光学系统对微结构的材料性能、几何尺寸和表面质量等都有极为苛刻的要求,光学系统特别是自由空间光学系统的微型化仍然面临巨大的技术挑战。提出一种基于表面压印和三维铸模技术的自由空间光学系统集成技术,该技术解决了光学元件的微型化及层内和层间的光学互联;在此基础上,结合MEMS技术、印刷电路(PCB)和表面贴装(SMD)技术实现了片上的光机电混合集成。
- 张流强
- 关键词：微光学
- 一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计
- 为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器。对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析。设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术...
- 王佳能温志渝张流强
- 关键词：MEMS微悬臂梁优化设计灵敏度
- 文献传递
- 用于红外探测的微型悬臂梁的结构模拟
- 2005年
- 一种用MEMS微加工技术制造的微型悬臂梁已经开始应用于红外探测技术中,悬臂梁由双层材料构成,衬底由硅、氮化硅等半导体材料制作,另一层则是一种热敏金属材料薄膜.在没有红外辐射情况下,悬臂梁的两侧表面应力是平衡的,而一旦有红外辐射到一侧的热敏薄膜材料后,引发该材料膨胀,迫使微型悬臂梁发生弯曲变形.用有限元分析软件ANSYS对该悬臂梁进行模拟仿真,改变结构参数,观察灵敏度的变化情况.除灵敏度外,还给出了悬臂梁的温度场分布和应力场分布图.获得的数据证明结构参数的设计对微型悬臂梁的灵敏度至关重要.
- 邓大卫张流强温志渝
- 关键词：红外探测灵敏度
- 一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计
- 2005年
- 为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.
- 王佳能温志渝张流强
- 关键词：MEMS微悬臂梁优化设计灵敏度
