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国家重点基础研究发展计划(Z201)
作品数:
2
被引量:7
H指数:2
相关作者:
陈宏伟
杨传仁
张继华
冷文健
裴亚芳
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相关机构:
电子科技大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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文献类型
2篇
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铁电
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铁电薄膜
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钛酸
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钛酸锶钡
1篇
BST
1篇
PST
机构
2篇
电子科技大学
作者
2篇
张继华
2篇
杨传仁
2篇
陈宏伟
1篇
裴亚芳
1篇
张瑞婷
1篇
余桉
1篇
冷文健
1篇
王波
传媒
2篇
绝缘材料
年份
1篇
2007
1篇
2006
共
2
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钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究
被引量:2
2007年
综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)。并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果。
王波
杨传仁
陈宏伟
张继华
余桉
张瑞婷
关键词:
铁电薄膜
钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展
被引量:5
2006年
综述了钛酸锶铅(PST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺:溶胶-凝胶(Sol_gel)法、磁控溅射(Magnetron Sput-tering)、脉冲激光沉积(PLD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD),并简要介绍了PST目前的研究进展以及PST薄膜在铁电移相器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用,提出了发展展望。
裴亚芳
杨传仁
陈宏伟
张继华
冷文健
关键词:
铁电薄膜
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