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均匀液滴沉积制造中液滴电量检测系统的设计与实现被引量：2: 2008年; 研究一种基于现场可编程门阵列(field programmable gate array,FPGA)的液滴电量实时检测系统,提出了通过检测液滴产生频率以及液滴流在系统回路产生的电流而计算单个液滴平均电量的方法。利用超高速集成电路硬件描述语言(very high speed integrated circuit hardware description language,VHDL)设计数字频率计以及A/D变换器,可以实现单个液滴电量的检测;利用自行研制的液滴检测系统进行实验,能够精确地检测充电液滴的带电量,得到不同频率下充电电压与液滴充电电量的相互关系,从而为液滴精确充电提供了依据,并可为均匀液滴喷射沉积制造的制件成型精度奠定基础。; 舒德华齐乐华罗俊曾祥辉杨方; 关键词：液滴电量 FPGA 数字频率计 VHDL

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西北工业大学研究生创业种子基金(Z200725)