菏泽学院科研基金(XY09WL02)
- 作品数：5 被引量：11H指数：2
- 相关作者：王志光刘纯宝杨兆刚马美娟张运海更多>>
- 相关机构：菏泽学院中国科学院近代物理研究所山东师范大学更多>>
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- 相关领域：理学文化科学电子电信更多>>
- Pb离子辐照注碳a-SiO_2薄膜的光致发光性能
- 2011年
- 用湿氧化法在单晶硅表面生长了非晶态SiO2薄膜,进行120 keV C离子注入和950 MeV Pb离子辐照,用荧光光谱分析样品发光特性的改变。结果发现,C离子注入和高能Pb离子辐照均能显著影响样品的发光特性,且荧光光谱的改变强烈依赖于注入和辐照剂量,预示不同注入和辐照剂量将导致不同的发光结构形成。对注入和辐照造成薄膜发光的可能来源及发光改变的机制进行了讨论。
- 刘纯宝赵志明王志光
- 关键词：光致发光谱重离子辐照离子注入
- KrF准分子激光刻蚀PMMA研究被引量：2
- 2011年
- 为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的内在机理,将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面,改变激光能量和脉冲数目,在大气背景下进行实验,照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜(SEM)、3维形貌分析仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段进行分析。SEM测试表明,在刻蚀区域出现孔状结构,说明刻蚀过程中有气体成分产生。XPS测试表明,激光照射后C1s峰的强度减弱而O1 s峰增强,据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉且空气中的O_2参与了反应。另外还研究了激光能量和脉冲数目对刻蚀率和表面粗糙度的影响。结果表明,随着激光能量和脉冲数目增加,刻蚀率和粗糙度并不是一直呈现递增的趋势。
- 马美娟张运海满宝元
- 关键词：光与物质相互作用激光刻蚀高分子聚合物有机玻璃
- 前概念与物理概念教学被引量：3
- 2011年
- 分析了前概念形成的原因和特点,并在此基础上提出了转变学生前概念的方法,强调从物理学史的角度转变学生前概念的重要性。
- 杨兆刚
- 关键词：前概念建构主义物理学史
- 快重离子辐照对非晶态SiO_2薄膜光致发光谱的影响被引量：4
- 2011年
- 用湿氧化法在单晶硅表面生长了非晶态SiO2薄膜,再用高能Pb和Xe离子对薄膜进行辐照,最后用荧光光谱分析了辐照参数(剂量、电子能损值)与发光特性改变的相关性。研究发现,快重离子辐照能显著影响薄膜的发光特性,进一步分析显示,辐照导致了SiO2薄膜内O—Si—O缺陷、缺氧缺陷和非桥式氧空位缺陷的产生,且缺氧缺陷和非桥式氧空位缺陷的数量会随Pb离子辐照剂量的增加而增多,而O—Si—O缺陷和缺氧缺陷的形成需要较高的电子能损值。
- 刘纯宝王志光
- 关键词：光致发光谱重离子辐照
- C离子注入对SiO_2薄膜光致发光特性的影响被引量：2
- 2012年
- 先用湿氧化法在单晶硅表面生长了非晶态SiO2薄膜,再用不同能量的C离子对薄膜进行注入,然后用荧光光谱分析了注入参数(注入能量、剂量)与发光特性改变的关联。研究发现,C离子注入能显著影响薄膜的发光特性,并且薄膜发光特性的改变强烈依赖于C离子的注入能量和注入剂量。对C离子注入SiO2薄膜引起发光特性改变的可能机理进行了简单讨论。
- 刘纯宝王志光
- 关键词：光致发光谱离子注入
