天津市自然科学基金(09JCYBJC05300)
- 作品数：4 被引量：23H指数：4
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- 基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量被引量：6
- 2011年
- 提出了一种结合白光扫描干涉术与图像分割技术的薄膜自动测量方法,可以同时得到薄膜的上下表面形貌以及厚度等几何参数。测试系统集成了Mirau干涉物镜,通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当薄膜厚度足够时,扫描所得信号会含有两组可分离的干涉条纹,利用Otsu方法实现双峰信号的自动分离。标准膜厚的测量实验表明,本文方法可以以nm级分辨力对符合可测条件的薄膜几何参数进行有效提取。
- 郭彤王瑞杰马龙陈津平傅星胡小唐
- 关键词：OTSU方法阈值表面形貌
- 基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征被引量：8
- 2011年
- 将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carré法应用于白光干涉信号的相位提取的精度,对不同扫描步距以及不同信噪比情况下的测量进行了计算机仿真,确定了测量参数.结合重心法将相位计算的数据范围直接定位于干涉信号的零级条纹,从而省去了相位解包裹过程.通过对微谐振器和标准台阶的测量说明了该方法的有效性,并使用白光相移干涉、白光垂直扫描和单色光相移干涉对44 nm标准台阶进行了测量,并对测量结果进行了比较.
- 马龙郭彤赵健徐临燕陈津平傅星胡小唐
- 基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法被引量：8
- 2010年
- 针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法。利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范围,实现了对微结构近4倍于CCD视场的大范围测量,验证了无重叠图像拼接的可实现性。
- 郭彤袁方高顺民马龙傅星胡小唐
- 关键词：微结构纳米测量机
- 基于白光倾斜扫描干涉术的微结构测量方法被引量：4
- 2011年
- 针对白光垂直扫描干涉技术由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制,使其不能进行较大横向范围的测试。本文使用白光倾斜扫描干涉术代替垂直扫描,以扩展其横向测量范围,提高测试效率。基于纳米测量机(NMM)搭建了测试系统,由NMM代替传统的压电陶瓷(PZT)带动被测物体进行倾斜扫描。分析了倾斜扫描的测量原理,针对本系统提出了倾斜扫描的实现方法,通过对MEMS器件上台阶结构的测试说明本方法的有效性。
- 马龙郭彤赵健陈津平傅星胡小唐
- 关键词：微结构
