国家自然科学基金(KFJJ200902)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：肖金泉闻立时黄香平邓宏贵杜昊更多>>
- 相关机构：中南大学中国科学院金属研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 气相沉积硅薄膜微结构及悬挂键缺陷研究被引量：5
- 2011年
- 在单晶Si（100）基体上利用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备硅薄膜,并采用X射线衍射谱（XRD）、透射电镜（TEM）、Raman光谱、电子自旋共振（ESR）波谱等实验方法研究了不同Ar流量下硅薄膜微结构及悬挂键密度的变化。XRD及TEM实验结果得出,制备的硅薄膜的晶粒尺寸为12~16 nm,属纳晶硅薄膜。薄膜结晶度随镀膜时Ar流量增大而增大,而悬挂键密度则先迅速减小而后缓慢增大。当Ar流量为70 ml/min（标准状态）时,薄膜的悬挂键密度达到最低值4.42×1016cm-3。得出最佳Ar流量值为70 ml/min。
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- 关键词：电子自旋共振RAMAN光谱
- ArF准分子激光晶化非晶硅薄膜微结构研究
- 2010年
- 利用ArF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行晶化后,采用拉曼光谱(Raman)、透射电镜(TEM)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等实验方法研究不同激光能量密度下晶化层硅薄膜微结构变化。实验结果表明:随激光能量密度的增大,薄膜结晶度增大,晶化层厚度加厚;晶粒尺寸则是先增大,直到激光能量密度增大到210 mJ/cm^2后,晶粒尺寸开始减小并且均匀性逐渐变差。最佳的激光能量密度范围为120～180 mJ/cm^2,这时薄膜表面晶化层晶粒比较均匀致密,薄膜质量较好。
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- 关键词：准分子激光激光能量结晶度
