国家自然科学基金(59975052)
- 作品数：17 被引量：138H指数：7
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- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 图像处理技术在形貌测量中的应用被引量：14
- 2001年
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例 ,分析影响精度的各种因素 ,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术 ,对改善二维、三维图像质量 。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词：图像处理形貌滤波
- 可定量测量的透射式微分干涉显微系统被引量：3
- 2003年
- 为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术。利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构。结果表明:该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景。
- 徐毓娴蔡昕董小满李文江
- 关键词：相移表面形貌
- 透明体的光学定量测量被引量：4
- 2001年
- 综述了使用光学方法测量透明体的方法。介绍了两种常用的光学方法——相衬法和微分干涉相衬法。在 2 0世纪 80年代 ,一般认为相衬法和微分干涉相衬法只适用于定性观察而不能实现定量测量 ,主要是因为在其成像原理中的非线性因素的影响。但是对于微分干涉相衬法 ,最近国内外出现了几种定量测量的方法 ,本文对这几种方法进行了总结和比较。
- 张志利徐毓娴李文江
- 关键词：生物体
- 干涉显微镜中相移误差分析被引量：6
- 2002年
- 相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一。介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式 ,并对其特点进行了分析比较。利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统 ,分别用四种算法对Ra=0 35μm和Ra=0 .0 9μm粗糙度样块进行了实测。结果表明 ,五帧算法的重复测量精度优于0 5nm ,五帧免疫算法的重复测量精度优于 0 3nm。
- 徐毓娴董小满蔡昕惠梅
- 关键词：微分干涉显微镜相移误差表面形貌测量
- 对移相误差不敏感的四帧相位算法被引量：8
- 2003年
- 应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与相移误差因子无关。对标准正弦样板进行的实验验证表明,该算法有效地抑制了移相误差对形貌测量的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。
- 惠梅王东生邓年茂李庆祥徐毓娴
- 关键词：相移干涉术表面形貌测量相移器
- 基于离散泊松方程解的相位展开方法被引量：43
- 2003年
- 提出了基于离散泊松方程解的相位展开方法 ,针对被测件表面疵病 (阴影、断裂、孔洞、噪声等 )奇异点所产生的相位跳变和截断 ,建立了相位展开算法模型 ;引入离散余弦变换求解具有诺埃曼边界条件的离散泊松方程 ,得到最小二乘意义下的展开相位解。经实验证明 ,该方法能够消除干涉图奇异点相位跳变 ,消除传统相位展开法所产生的“跳序”和“拉线”现象 。
- 惠梅王东生李庆祥邓年茂徐毓娴
- 关键词：相位展开方法离散余弦变换相移干涉术三维形貌测量
- 相移算法模拟实验研究被引量：3
- 2002年
- 相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用。其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一。分析比较了常用四种算法:四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法原理公式及对相位测量的影响。用计算机进行模拟实验,提出样本方差和最大偏差两个参数评价算法的优劣。得出传统四帧算法对相移误差最敏感,尽量少用,优先采用五帧算法的结论,有实用性。
- 董小满徐毓娴惠梅
- 关键词：相移干涉
- 用特征多项式构造相移干涉相位提取算式被引量：6
- 2003年
- 用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证 ,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra 值 ,重复测量精度达 5倍以上 。
- 惠梅牛憨笨李庆祥王东生徐毓娴
- 关键词：特征多项式相移干涉术光学测量傅里叶分析
- 图像处理技术在形貌测量中的应用
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像质量,提高检测精度的可行性。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词：图像处理形貌滤波
- 文献传递
- 微分干涉相衬显微镜中偏光棱镜设计被引量：16
- 2001年
- 微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用 ,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一。对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜 Nomarski棱镜的主要参数之间的关系进行分析 ,并做了设计计算 ,得出了一些有实用价值的结论 ,使 Nomarski棱镜的设计更简便 。
- 蔡昕徐毓娴张志利
- 关键词：分束角显微镜显微测量
