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中国工程物理研究院科学技术发展基金(2011B0103015)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：付文博刘锦华程贵钧王维笃周晓松更多>>
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文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇形核
  • 1篇膜形貌
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇TI
  • 1篇铀
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底材料

机构

  • 2篇中国工程物理...

作者

  • 1篇黄坡
  • 1篇叶岑明
  • 1篇杨本福
  • 1篇谢奇林
  • 1篇梁建华
  • 1篇周晓松
  • 1篇王维笃
  • 1篇程贵钧
  • 1篇刘锦华
  • 1篇李建胜
  • 1篇付文博

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
衬底材料对Ti膜形貌及结构的影响被引量：1
2016年
使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大。抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜先在衬底形核,后以柱状颗粒的形式竖直向上生长;抛光石英衬底上的Ti膜表面平整,颗粒与界面清晰可见,在界面处有一层等轴晶;粗糙度最低的单晶硅基片上沉积的Ti膜表面反而最粗糙,通过XRD分析发现有TiSi_2的峰存在。
付文博刘锦华梁建华杨本福周晓松程贵钧王维笃
关键词：衬底形核薄膜生长
时间关联符合法铀部件质量测量中的几何影响
外中子源注入铀部件后,根据两路探测器间的中子和gamma粒子时间关联符合计数分布可获得铀部件的质量等特性。本文利用粒子蒙特卡罗输运程序,对富集度相同、几何尺寸各异的4块半球壳形状的金属铀部件质量测量实验进行模拟,获得对应...
黄坡李建胜叶岑明谢奇林
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