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重庆市自然科学基金(CSTC2009BA4027)
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相关作者:
陈轩
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2013
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反应等离子体制备碳锥及其表征
2013年
利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统,用CH4、H2和NH3为反应气体,分别在沉积有钛膜和碳膜的Si片衬底上制备了锥形碳结构,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线能谱仪(EDX)和显微Raman光谱仪对其形貌和结构进行了表征。SEM结果表明在沉积有碳膜的Si片衬底上易形成碳锥,EDX谱和Raman谱进一步表明形成的碳锥为碳氮结构,由sp3 C-N、sp2 C和sp2 C=N键形成。根据溅射机制和扩散机制,分析了碳锥的形成。同时,还对碳锥Raman谱的荧光背景进行了分析,结果表明由于氮的掺杂,使得碳锥由非极性的碳材料变成为极性碳材料。
陈玉安
陈轩
徐幸梓
王必本
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拉曼光谱
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