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重庆市自然科学基金(CSTC2009BA4027)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:陈轩王必本陈玉安徐幸梓更多>>
相关机构:重庆理工大学重庆大学更多>>
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相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体制备
  • 1篇扩散
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇溅射
  • 1篇光谱
  • 1篇

机构

  • 1篇重庆大学
  • 1篇重庆理工大学

作者

  • 1篇徐幸梓
  • 1篇陈玉安
  • 1篇王必本
  • 1篇陈轩

传媒

  • 1篇重庆大学学报...

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
反应等离子体制备碳锥及其表征
2013年
利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统,用CH4、H2和NH3为反应气体,分别在沉积有钛膜和碳膜的Si片衬底上制备了锥形碳结构,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线能谱仪(EDX)和显微Raman光谱仪对其形貌和结构进行了表征。SEM结果表明在沉积有碳膜的Si片衬底上易形成碳锥,EDX谱和Raman谱进一步表明形成的碳锥为碳氮结构,由sp3 C-N、sp2 C和sp2 C=N键形成。根据溅射机制和扩散机制,分析了碳锥的形成。同时,还对碳锥Raman谱的荧光背景进行了分析,结果表明由于氮的掺杂,使得碳锥由非极性的碳材料变成为极性碳材料。
陈玉安陈轩徐幸梓王必本
关键词:拉曼光谱溅射扩散
共1页<1>
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