教育部科学技术研究重点项目(104196)
- 作品数:8 被引量:31H指数:3
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- 基于三波导耦合的聚合物电光可调光衰减器被引量:4
- 2006年
- 可调光衰减器(VOA)是密集波分复用(DWDM)网络中的重要器件之一,它的一个重要应用是实现多通道间的功率均衡。提出了一种基于三波导耦合结构的聚合物电光可调光衰减器的设计方案,即利用两个旁侧波导耦合掉主通道波导中的光,从而达到衰减的目的。并运用束传播法(BPM)对该器件进行了相关性能的模拟、分析及优化,使得该结构衰减达到60 dB,驱动电压为11.3 V,插入损耗为0.48 dB。该结构有效的降低了驱动电压,并使该结构的高衰减可调光衰减器得以实现。
- 吴永红胡国华崔一平
- 关键词:可调光衰减器耦合模束传播法电光效应
- 有机聚合物光波导的研制被引量:15
- 2005年
- 聚合物光电子器件是目前世界范围的一个研究热点,其本身所具有易于集成、响应快速、成本低廉一系列优点,在光通信方面有广泛的和极具吸引力的应用前景。介绍了制作有机聚合物光波导的工艺流程,并用两种方法制备出有机聚合物光波导。这对后续研究有很大的帮助。
- 凌云张彤崔一平
- 有机聚合物光波导光刻工艺的优化被引量:2
- 2007年
- 针对RZJ-304(25 mp.s)型正性光刻胶,对芯层为PMMA的光波导材料,研究接触式光刻机提高光刻分辨率的方法。分别采用不同的曝光强度和曝光时间来改变曝光量,研究其对光刻图形宽度的影响;并通过改变曝光后烘焙(PEB)的温度和时间以及采用不同的显影时间,研究了其对光刻图形宽度的影响,从而得出优化的光刻工艺参数。
- 陈金明胡国华恽斌峰崔一平
- 关键词:聚合物光波导光刻工艺曝光量
- 有机聚合物光波导的端面处理研究被引量:2
- 2007年
- 主要研究如何在不损伤聚合物的前提下,实现聚合物波导的端面处理,即对端面的研磨和抛光。由于硅材料和聚合物材料的物理特性差别,除了要选择好特定的抛光材料以外,在抛光时还要特别控制抛光速度和抛光时间:速度过快会造成硅片"塌边"和损坏聚合物膜。试验结果表明:抛光速度在50 r/min以上很容易造成损伤;速度在20 r/min左右的抛光效果较理想。抛光时间不够则不能达到抛光要求。
- 钱淑冰胡国华恽斌峰崔一平
- 关键词:光集成器件聚合物光波导封装抛光
- DR19/PMMA掺杂型聚合物的电晕极化研究被引量:3
- 2007年
- 极化聚合物以其响应速度快、制作工艺相对简单在聚合物集成光电器件领域得到了广泛的关注和研究。利用由大面积ITO玻璃、钨丝阵列以及金属栅格网组成的三层上电极结构,实现了DR 19/PMMA掺杂型聚合物大面积均匀极化,并通过比较极化聚合物吸收光谱和以及反射法测量的电光系数,研究了极化电流、极化电压等极化参数对极化效果的影响。
- 王良涛恽斌峰胡国华崔一平
- 关键词:电晕极化电光效应
- 含氟聚酰亚胺有机聚合物波导的制备被引量:5
- 2007年
- 采用含氟单体4,4'-(六氟异丙基)-苯二酸酐(6FDA)、5,5'-(六氟异丙基)-二-(2-氨基苯酚)(6FHP)及二氨基二苯醚(ODA)合成了含氟聚酰亚胺共聚物材料,对材料的化学和光学性能进行了表征.共聚物材料在溶液状态下用旋涂法获得了较高质量的共聚物薄膜,并在此基础上采用先进的光波导工艺技术将该材料制备成条波导,测试结果表明该波导在光通信波段1550nm处的平均传输损耗小于0.66dB/cm,局部损耗在0.2dB/cm,进一步改进后有望获得性能优异的光电子器件.
- 吕广才胡国华恽斌峰陆志远陈金明崔一平
- 关键词:含氟聚酰亚胺聚合物波导传输损耗
- 聚合物光波导的反应离子刻蚀工艺研究被引量:2
- 2008年
- 实验研究了表面粗糙度、侧壁垂直度与各刻蚀参量之间的关系,通过对刻蚀效果的分析,发现在低功率、高CHF3含量、低压强的情况下能获得最小的表面粗糙度;在高功率、50%CHF3含量、低压强的情况下能获得较陡直的波导侧壁。利用优化的刻蚀条件,对PMMA进行刻蚀,得到了均方根粗糙度小、侧壁陡直的波导。实验发现,该刻蚀条件对其他聚合物光波导材料的刻蚀也具有一定的指导意义。
- 陆志远胡国华恽斌峰崔一平
- 关键词:反应离子刻蚀波导PMMA粗糙度
- 主客体掺杂型电光聚合物极化条件及弛豫特性研究
- 2008年
- 实验利用紫外-可见吸收光谱研究了主客体掺杂型非线性聚合物薄膜(DR1/PMMA)的极化条件与生色团取向有序度、弛豫特性之间的关系。结果表明,在不改变其它条件的情况下,随着极化电压的增加,聚合物薄膜的极化取向有序度、抗弛豫性能得到逐步增强;而在接近于该聚合物薄膜的玻璃化温度情况下进行极化,有助于获得更好的取向有序度和抗弛豫性能。同时实验发现,环境湿度的降低则能显著地增强薄膜偶极子的取向稳定性。
- 李琛恽斌峰胡国华崔一平
- 关键词:非线性光学电光聚合物电晕极化弛豫