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“上海－应用材料研究与发展”基金(0315)

作品数：3 被引量：15H指数：2
相关作者：刘毓舒袁振宇徐东蔡炳初更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇织构
  • 2篇驱动器
  • 2篇微驱动
  • 2篇微驱动器
  • 1篇形状记忆
  • 1篇形状记忆合金
  • 1篇记忆合金
  • 1篇溅射
  • 1篇合金
  • 1篇NITI形状...
  • 1篇X射线
  • 1篇X射线应力分...

机构

  • 3篇上海交通大学

作者

  • 3篇刘毓舒
  • 2篇蔡炳初
  • 2篇徐东
  • 2篇袁振宇

传媒

  • 1篇稀有金属材料...
  • 1篇理化检验（物...
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇2006
  • 1篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
溅射态原位加热NiTi形状记忆合金薄膜的结构性能研究被引量：2
2006年
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺。结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高。
袁振宇徐东刘毓舒蔡炳初
关键词：织构微驱动器
NiTi形状记忆合金薄膜的制备及形变特性被引量：9
2006年
研究了适用于微器件的溅射态N iTi形状记忆合金薄膜。讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响。利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性。结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜制备的驱动器回复率为0.76%。
袁振宇徐东刘毓舒蔡炳初
关键词：形状记忆合金织构微驱动器
薄膜X射线应力分析的实验方法被引量：4
2005年
提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序。
刘毓舒
关键词：X射线应力分析
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