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中国科学院科研装备研制项目(YZ201152)

作品数：4 被引量：5H指数：2
相关作者：李欣幸秦华吕利顾晓峰苏丽娜更多>>
相关机构：中国科学院江南大学教育部更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇单电子晶体管
  • 3篇晶体管
  • 3篇SET
  • 2篇电荷
  • 2篇绝缘体上硅
  • 2篇SOI
  • 1篇等效
  • 1篇等效电路
  • 1篇电荷检测
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇扫描探针
  • 1篇石英音叉
  • 1篇透射
  • 1篇库仑
  • 1篇库仑阻塞

机构

  • 4篇中国科学院
  • 1篇江南大学
  • 1篇教育部
  • 1篇上海大学

作者

  • 4篇秦华
  • 4篇李欣幸
  • 2篇苏丽娜
  • 2篇吕利
  • 2篇顾晓峰
  • 1篇俞圣雯
  • 1篇孙建东
  • 1篇张志鹏
  • 1篇刘永涛

传媒

  • 3篇微纳电子技术
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
单电子晶体管用于电荷检测的研究被引量：3
2014年
单电子晶体管可用作超灵敏电荷计进行高灵敏电荷检测。首先建立了单电子晶体管电荷检测的电路模型,阐释了其电荷检测机制;然后利用COMSOL和MATLAB软件对检测过程进行了模拟研究,分析了不同电荷量和检测距离时单电子晶体管库仑岛的电势,并研究了电荷量、检测距离及电荷间静电耦合对单电子晶体管电导的影响。结果表明,单电子晶体管电荷检测时工作点和检测距离决定其电荷检测的量程,最佳检测距离应设置在电导-距离曲线的斜率最大处。
苏丽娜吕利李欣幸秦华顾晓峰
关键词：电荷检测
基于射频单电子晶体管的超灵敏电荷计的数值分析被引量：1
2016年
集成单电子晶体管SET(Single Electron Transistor)与射频共振电路的射频单电子晶体管RF SET(Radio FrequencySingle Electron Transistor)是一种高速高灵敏的电荷计。通过建立RF SET的等效电路模型,对共振电路及其与射频传输线的集成进行模拟分析,得到了SET阻抗的最佳匹配,获得了所需的谐振频率、品质因子和对SET阻抗的灵敏度。结果表明,受电荷调制的SET阻抗直接影响着共振电路的品质因子、阻抗和射频透射/反射系数。射频信号随着SET的阻抗降低而减小,峰位基本不变。在SET阻抗小于200 kΩ时,共振信号幅度随阻抗的变化率较大。透射式与反射式两种结构相比,前者共振频率及品质因子更高,后者则具有更高的灵敏度优势。
苏丽娜李欣幸秦华顾晓峰
关键词：等效电路透射
硅基单电子晶体管的可控制备被引量：2
2013年
采用电子束曝光、感应耦合等离子体刻蚀和热氧化等工艺技术,通过独特的图形反转设计,即在电子束曝光时采用负的曝光图形,并以电子束曝光的光刻胶作为掩膜进行干法刻蚀,通过后续的干法热氧化等工艺,在磷离子重掺杂的绝缘体上硅基底上成功地制备出单电子晶体管。该方法具有高精度、结构可控、可重复和加工成本低的优点,可作为一种批量制备单电子晶体管的工艺技术。所制备的单电子晶体管在2.6 K到100 K的温度范围内呈现出明显的库仑阻塞效应,导通电阻小于100 kΩ。该单电子晶体管将成为高速、高灵敏度射频电路的关键器件。
吕利孙建东李欣幸秦华
关键词：库仑阻塞电子束曝光
单电子晶体管与原子力扫描探针的集成
2017年
单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像。介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案。一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静电探针的设计避免了SET的刻蚀损伤。通过SET和静电探针的电容耦合来实现电荷探测。将扫描探针与石英音叉进行组装,在8 K低温下成功实现了间距2μm金属光栅10°倾角的形貌扫描,并获得形貌图,针尖上的SET具有良好的库仑阻塞效应和单电子隧穿特性。
刘永涛李欣幸张志鹏秦华俞圣雯
关键词：石英音叉
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