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中科院创新基金(CXJJ-09-S05)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：任豪姚军邱传凯胡放荣更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：中科院创新基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇带宽
  • 1篇弹簧
  • 1篇蛇形弹簧
  • 1篇驱动器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇模态
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇胡放荣
  • 1篇邱传凯
  • 1篇姚军
  • 1篇任豪

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析
2009年
提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力。驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成。首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性系数和模态进行了详细分析和对比,最后对驱动器的行程、驱动力、频率响应和带宽等性能进行了分析。结果表明,存在横梁时结构更加稳定,施加200V电压时,结构有2.5μm的位移和28μN的驱动力,而且带宽约为7kHz。该驱动器可运用于光通信和空间光调制等领域。
任豪姚军胡放荣邱传凯
关键词：微机电系统模态带宽
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