教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-08-0158)
- 作品数：9 被引量：44H指数：5
- 相关作者：寇宝泉张赫李立毅张鲁邢丰更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学中国民航大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 复合电流驱动永磁同步平面电机的设计方法被引量：7
- 2011年
- 提出一种新型复合电流驱动的永磁同步平面电动机方案,介绍了该平面电动机的结构形式、运行原理和特点。针对其特殊结构形式和工作原理,研究该类型平面电机的设计方法。确定了该平面电机的主要尺寸,并推导出主要尺寸的计算公式。对平面电机线圈和永磁体的设计分别进行了研究,并分析了线圈截面高度和永磁体厚度对平面电机性能的影响。依据所提出的设计方法,加工制作了一台样机,并进行了相关实验,通过分析比较实验结果,验证了设计方法的合理性。
- 寇宝泉张鲁李立毅
- 关键词：平面电机设计方法
- 集成绕组结构短行程直流平面电机的电磁设计被引量：1
- 2013年
- 高精密平面电机具有系统结构简单、平面直驱、高分辨率、高频响等特点,近年来受到学术界和相关领域的广泛关注。然而,到目前为止,针对高精密平面电机系统性设计方法的相关研究很少。该文对集成绕组结构短行程直流平面电机(integrated winding structure short-stroke DC planarmotor,IWSDCPM)进行研究,介绍了IWSDCPM的结构形式、运行原理和特点。推导出IWSDCPM的主要尺寸的关系式,明确了电机的主要尺寸,对永磁体和线圈的设计分别进行了研究,并以推力最大为设计目标进行参数优化。针对其特殊的结构形式和应用场合,提出该类平面电机的通用设计方法。根据所提出的设计方法,加工制作了一台样机,并进行了相关实验测试。实验结果与设计指标基本吻合,验证了设计方法的有效性。
- 寇宝泉张赫张海林杨国龙
- 关键词：设计方法
- 复合电流驱动的永磁同步平面电机被引量：1
- 2012年
- 提出一种新型复合电流驱动的永磁同步平面电机,简单介绍了该平面电机的结构和原理,利用标量磁位和边界条件对永磁阵列所产生的磁场进行解析分析,分别推导出电磁力和反电动势的表达式,建立电机的数学模型。在实验室条件下,设计制造一台样机并进行相关实验研究,通过对比试验和仿真结果,验证了解析设计的合理性。
- 寇宝泉张鲁李立毅
- 关键词：平面电机
- 多自由度短行程超精密平面电机技术发展综述被引量：8
- 2013年
- 多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密加工装备领域具有广阔的应用前景,近年来受到学术界的广泛关注。本文介绍了多自由度短行程超精密平面电机的研究现状,对近年来国内外用于实现超精密定位的主流结构进行了综述,总结了目前超精密平面电机的主要研究内容与关键技术,并讨论了其未来的发展趋势。
- 寇宝泉张赫
- 关键词：平面电机超精密定位多自由度短行程
- 基于多模型自适应的飞行控制系统重构与优化被引量：3
- 2013年
- 对飞行器执行机构受损或失效情况下其飞行控制规律重构的问题,提出一种基于线性二次最优控制理论的多模型自适应控制重构技术方案。利用线性二次调节器获得参考模型,基于故障诊断与检测技术,运用Lyapunov稳定性理论,确保闭环控制系统的严格正实性和全局渐进稳定性。根据飞行器的动力学控制规律,进行故障辨识和模型切换,实现故障状态下飞行控制规律的重构与优化设计。针对典型故障情况进行飞行器控制重构仿真验证,结果表明系统能够在舵面部分失效下完成控制重构,保证有效飞行器运行控制。
- 史志波董慧芬李立毅
- 关键词：LYAPUNOV稳定性理论容错控制
- 高性能永磁同步平面电机及其关键技术发展综述被引量：11
- 2013年
- 永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式和对称式永磁同步平面电机4类,并介绍了各种类型平面电机的特点,总结了永磁同步平面电机关键技术的发展现状,针对目前永磁同步平面电机存在的不足,讨论了未来永磁同步平面电机发展的趋势与方向。
- 寇宝泉张鲁邢丰李立毅张赫
- 关键词：光刻机
- 平面电磁阻尼器的特性分析被引量：9
- 2013年
- 电磁阻尼器是一种利用涡流阻尼作用使运动系统的震荡快速衰减的装置。在一些工业场合中,系统往往需要多自由度的阻尼力,传统方法是采用多个单自由度阻尼器进行组合,但是存在机械结构与系统构成复杂的缺点。该文提出一种平面电磁阻尼器,该阻尼器能够利用一个运动部件同时提供两正交方向的电磁阻尼力,具有结构简单、安全可靠等优点,可应用在光刻机工件台等需要两自由度快速稳定定位的场合中。介绍了平面电磁阻尼器的结构和工作原理,利用磁荷法和镜像法对永磁阵列的三维空间磁场进行解析,推导出电磁阻尼力的解析表达式。利用有限元对影响电磁阻尼力的尺寸参数进行分析,得到电磁阻尼力及阻尼系数的变化规律。实验结果与理论计算基本一致,验证了理论分析的正确性。
- 张赫寇宝泉金银锡杨国龙赵雄浩
- 关键词：电磁阻尼器两自由度
- Development of the High-performance Synchronous Permanent Magnet Planar Motor and Its Key Technologies被引量：6
- 2013年
- 永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式和对称式永磁同步平面电机4类,并介绍了各种类型平面电机的特点,总结了永磁同步平面电机关键技术的发展现状,针对目前永磁同步平面电机存在的不足,讨论了未来永磁同步平面电机发展的趋势与方向。
- 寇宝泉张鲁邢丰李立毅张赫
- 关键词：平面电机光刻技术集成电路制造平版印刷技术
- 集成绕组结构短行程直流平面电机被引量：3
- 2011年
- 提出集成绕组结构短行程直流平面电机(integrated winding structure short-stroke DC planar motor,IWSDCPM)。该结构新颖的平面电机基于洛伦兹力原理运行,具有结构简单、定位精度高、推力波动小、响应速度快等特点。与永磁同步平面电机相比较,更适合应用在高精密平面定位场合。介绍电机结构并阐述三自由度驱动原理,利用磁荷模型和镜像法对气隙磁场进行解析,获得电磁推力解析表达式,通过有限元仿真对电机推力和偏转转矩进行计算,制作一台样机并进行静态推力实验。仿真结果和实验结果均与理论计算相符,验证了理论分析的有效性。
- 寇宝泉张赫李立毅
