国家重点基础研究发展计划(2003CCA03300)
- 作品数：5 被引量：14H指数：2
- 相关作者：赵高扬张卫华徐国敏邓小翠赵卫更多>>
- 相关机构：西安理工大学中国科学院国家复合改性聚合物材料工程技术研究中心更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金西安应用材料创新基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信理学电气工程更多>>
- 基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能被引量：1
- 2008年
- 应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性。
- 徐国敏赵高扬张卫华邓小翠谭红何力
- 关键词：锆钛酸铅铁电薄膜电滞回线微细图形
- 含钇螯合物制备及感光性研究被引量：3
- 2006年
- 以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜。研究了这种凝胶膜的紫外、红外光谱特性,发现了在330 nm处有与含钇螯合物相关的吸收峰,这种凝胶薄膜对紫外光具有感光特性,即当紫外光照射薄膜后,含钇螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含钇螯合物分解。伴随着螯合物的分解,薄膜在有机溶剂中的溶解性会发生显著变化,利用这种特性,紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜,用有机溶剂溶洗后获得凝胶薄膜的微细图形;经过600℃热处理30 min,得到了具有立方相氧化钇薄膜的微细图形。
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- 关键词：溶胶-凝胶法化学修饰微细图形
- 钛酸锶钡薄膜微细图形的制备被引量：8
- 2006年
- 采用化学修饰的溶胶凝胶工艺,制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)溶胶及其凝胶薄膜.提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法,即以苯酰丙酮(BzAcH)为化学修饰剂,乙酸钡、氯化锶、钛酸丁酯为原料,甲醇为溶剂,乳酸为催化剂,合成了具有螯合物结构的前驱溶胶体系.其螯合物的特征吸收峰在358nm附近,该溶胶及其凝胶薄膜在室温下有较好的化学稳定性;高压汞灯产生的紫外光照射可以分解薄膜中的螯合物结构,伴随着这种螯合物结构的分解,薄膜在乙醇中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性.利用这种光感应特性,采用紫外光通过掩膜照射薄膜,然后在乙醇中溶洗,获得了凝胶薄膜的微细图形,进一步通过600℃晶化热处理,最后得到了具有钙钛矿相结构和铁电特性的钛酸锶钡薄膜的微细图形.
- 张卫华赵高扬李莺赵卫
- 关键词：钛酸锶钡铁电薄膜微细图形溶胶凝胶
- 亚微米PZT阵列制备及铁电性能研究被引量：2
- 2007年
- 采用感光溶胶-凝胶法,在ITO/石英基板上制备了具有紫外感光性的PZT前驱溶胶及凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,采用He-Cd紫外激光双光束干涉和二次曝光工艺,结合有机溶剂溶洗和600℃,15min热处理,制备了点阵周期为1μm,阵列格点尺寸为480nm×480nm×40nm的PZT薄膜阵列.并将原子力显微镜(AFM)和铁电测试仪联用,采用具有导电涂层的探针,通过扫描获得铁电阵列的三维图像.据此图像,把探针定位于特定的微小格点上,由铁电仪通过AFM探针提供电压,并经探针将测试信号反馈给铁电仪,以获得格点的电滞回线.结果表明,亚微米量级的PZT阵点随外电场的变化可以实现极化反转,表现出明显的铁电特性.
- 赵高扬张卫华徐国敏邓小翠蒋百灵赵卫
- 关键词：锆钛酸铅铁电薄膜感光性电滞回线
- 基于原子力显微技术的PZT薄膜铁电性能研究被引量：2
- 2010年
- 针对现有测试技术不能直接获得纳米尺度铁电薄膜电滞回线的问题,提出了将原子力显微镜与铁电分析仪连用的方法,研究了锆钛酸铅(PZT)薄膜样品的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能表征铁电薄膜的电滞回线,在无顶电极测试条件下,测试得到的电滞回线很不对称,且剩余极化值较大。
- 徐国敏赵高扬张卫华谭红邓小翠
- 关键词：铁电薄膜电滞回线原子力显微镜
