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福建省自然科学基金(2007J0320)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
刘建春
邵明亮
郭隐彪
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相关机构:
厦门理工学院
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福建省自然科学基金
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相关领域:
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光学非球面检测平台误差补偿
被引量:1
2011年
根据光学非球面检测平台结构,建立了误差补偿数学模型。用激光干涉仪检测三轴定位误差和直线度误差,采用最小二乘法拟合出多项式系数,得到误差曲线,叠加后实现了误差补偿。测量出3个运动坐标轴两两之间的垂直度误差,采用坐标旋转完成误差补偿。利用机构误差的分析和检定技术,完成非实时误差的补偿。利用标准球做了对比试验。结果表明,经误差补偿后的非球面检测平台精度明显提高。
刘建春
郭隐彪
邵明亮
关键词:
光学非球面
数据分析
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