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中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金(S20060201)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王艳丽袁明权张茜梅彭勃丁元萍更多>>
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发文基金：中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇伺服
  • 1篇伺服控制
  • 1篇伺服控制器
  • 1篇速度传感器
  • 1篇微加速度传感...
  • 1篇量程
  • 1篇控制器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇键合
  • 1篇键合技术
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇武蕊
  • 1篇李红
  • 1篇丁元萍
  • 1篇彭勃
  • 1篇张茜梅
  • 1篇袁明权
  • 1篇王艳丽

传媒

  • 1篇信息与电子工...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器被引量：1
2008年
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。
彭勃袁明权丁元萍李红武蕊张茜梅王艳丽
关键词：微加速度传感器伺服控制器量程
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