吉林省科技厅资助项目(20100344)
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
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- 微气体传感器结构设计和优化被引量：6
- 2013年
- 设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。
- 张晓波陕皓刘丽王连元李守春王国光
- 关键词：气体传感器微热板温度分布ANSYS
- 掺多壁碳纳米管的ZnO对乙醇的气敏性能被引量：2
- 2012年
- 采用化学气相沉积法制备了多壁碳纳米管(MWNTs),并向ZnO粉体中掺入不同比例的MWNTs,利用扫描电子显微镜(SEM)对合成物进行了表征,以该合成物为敏感材料制成了旁热式结构的气体传感器,通过元件对乙醇气敏特性的测试表明,MWNTs的掺杂显著地提高了ZnO气敏材料对乙醇气体的灵敏度,当乙醇气体浓度为5.0×10-5时,元件的灵敏度为46,响应恢复时间分别为4和20s,并测试了传感器对于常见干扰气体的灵敏度,表明器件具有良好的选择性。
- 陕皓张晓波刘丽李守春王连元翟微微
- 关键词：ZNO多壁碳纳米管气体传感器
