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黑龙江省研究生创新科研项目(YJSCX2008-194HLJ)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
董峰
高德
林晶
刘壮
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相关机构:
哈尔滨商业大学
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发文基金:
黑龙江省研究生创新科研项目
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相关领域:
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哈尔滨商业大...
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刘壮
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林晶
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高德
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董峰
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2009
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射频磁控溅射SiO_x薄膜的制备与阻隔性能研究
被引量:3
2009年
利用磁控溅射技术,以SiO2为靶材,Ar为射频源气体,在PET基材上制备SiOx薄膜。研究了不同放电功率、氩气流量、镀膜时间等参数对SiOx薄膜阻隔性能的影响。结果表明:在一定范围内,薄膜的阻隔性能随放电功率的增大而增大,而后逐渐减小;氩气流量对薄膜的阻隔性能也有一定影响;镀膜时间在10min时SiOx薄膜的阻隔性能最好。扫描电镜SEM测试表明,在氩气流量为100cm3/min,镀膜时间10min,1500W放电功率下制备的SiOx薄膜阻隔性能较好、表面较均匀。
董峰
高德
林晶
刘壮
关键词:
磁控溅射
SIOX薄膜
透湿
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