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国家重点基础研究发展计划(513080301)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：郝跃林若兵魏巍冯倩王冲更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微波
  • 1篇牺牲层
  • 1篇牺牲层技术
  • 1篇空气桥
  • 1篇互连
  • 1篇互连方法

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇王冲
  • 1篇冯倩
  • 1篇魏巍
  • 1篇林若兵
  • 1篇郝跃

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微波和高温器件的一种空气桥互连方法被引量：6
2008年
空气桥是单片微波集成电路MMICs的一种高速互连技术,其目的是减少微波大功率器件单位面积的寄生电容,提高器件的频率特性.文中提出了一种灵活性很强,应用于微波和高温器件的空气桥定型方法.该方法利用不同性质的光刻进行多层甩胶、低温烘烤牺牲层,制出弧度很好的桥区拱形牺牲层,经低温烘烤的牺牲层的高度比烘烤前的高出60%.利用该方法可以制出高性能和高可靠性的空气桥互连结构.
林若兵魏巍冯倩王冲郝跃
关键词：空气桥牺牲层技术
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