吉林省环保局科技项目(2009-22)
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
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- 新型气体传感器微热板的设计与优化
- 2014年
- 设计了一种新型气体传感器的微热板结构,利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布,并对测量电极的结构进行了优化。当微热板的基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150μm、100μm且测量电极不放叉指时,微热板中心温度最高且能够获得最佳温度分布。这种新型的微热板结构有助于提高传感器的整体性能。
- 迟霄张晓波刘丽何越王连元
- 关键词：微热板电极温度分布
- 一种新型微结构气体传感器电极设计分析被引量：3
- 2012年
- 利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布。当加热器宽度为100μm,信号电极宽度35μm,间距为70μm,传感器获得均匀的温度分布和低功耗,有利于传感器整体性能的提高。
- 韩郁刘丽陕皓王连元李守春李伟田云霞魏爱国
- 关键词：气体传感器微加热器电极温度分布
- 壳状氧化锌的制备及其对丙酮的敏感特性被引量：6
- 2013年
- 采用水热法制备了壳状氧化锌。利用扫描电子显微镜、X射线衍射对样品的结构和形貌进行了表征。以该壳状氧化锌作为敏感材料制成旁热式结构的气体传感器样品,检测了样品在不同温度下对丙酮气体的灵敏度。结果表明:在300℃条件下,当丙酮的质量分数为100×10–6时,样品对丙酮气体的灵敏度为24.8,响应时间和恢复时间分别为2 s和3 s。另外,还测试了传感器对于常见干扰气体的灵敏度,表明器件具有良好的选择性。
- 薄小庆刘唱白王连元刘丽李守春刘震陕皓张晓波迟霄
- 关键词：水热法氧化锌丙酮气体传感器
